स्वच्छ कमरे में वायु प्रवाह संगठन के प्रभावित कारक क्या हैं?

चिप निर्माण उद्योग में चिप उपज चिप पर जमा हवा के कणों के आकार और संख्या से निकटता से संबंधित है। अच्छा वायु प्रवाह संगठन स्वच्छ कमरे से दूर धूल स्रोतों से उत्पन्न कणों को ले सकता है और क्लीनरूम की स्वच्छता सुनिश्चित कर सकता है। अर्थात्, क्लीनरूम में वायु प्रवाह संगठन चिप उत्पादन की उपज में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है। क्लीन रूम एयर फ्लो ऑर्गनाइजेशन के डिजाइन में प्राप्त होने वाले लक्ष्य हैं: हानिकारक कणों की अवधारण से बचने के लिए प्रवाह क्षेत्र में एड़ी धाराओं को कम करने या खत्म करने के लिए; क्रॉस-संदूषण को रोकने के लिए एक उपयुक्त सकारात्मक दबाव ढाल बनाए रखने के लिए।

क्लीन रूम सिद्धांत के अनुसार, कणों पर काम करने वाले बलों में द्रव्यमान बल, आणविक बल, कणों के बीच आकर्षण, वायु प्रवाह बल, आदि शामिल हैं।

एयरफ्लो बल: कणों को ले जाने के लिए एक निश्चित प्रवाह दर के साथ आपूर्ति और थर्मल संवहन एयरफ्लो, कृत्रिम आंदोलन, और अन्य एयरफ्लो की आपूर्ति के कारण होने वाले एयरफ्लो के बल को संदर्भित करता है। स्वच्छ कमरे पर्यावरण प्रौद्योगिकी नियंत्रण के लिए, वायु प्रवाह बल सबसे महत्वपूर्ण कारक है।

प्रयोगों से पता चला है कि एयरफ्लो आंदोलन में, कण लगभग उसी गति से एयरफ्लो का पालन करते हैं। हवा में कणों की स्थिति एयरफ्लो वितरण द्वारा निर्धारित की जाती है। इनडोर कणों पर एयरफ्लो के मुख्य प्रभावों में शामिल हैं: वायु आपूर्ति एयरफ्लो (प्राथमिक एयरफ्लो और माध्यमिक एयरफ्लो सहित), एयरफ्लो और थर्मल संवहन एयरफ्लो, जो लोगों के चलने के कारण होता है, और प्रक्रिया संचालन और औद्योगिक उपकरणों के कारण कणों पर एयरफ्लो का प्रभाव। विभिन्न वायु आपूर्ति के तरीके, स्पीड इंटरफेस, ऑपरेटर और औद्योगिक उपकरण, प्रेरित घटनाएं, आदि क्लीनरूम में सभी कारक हैं जो स्वच्छता स्तर को प्रभावित करते हैं।

1। वायु आपूर्ति विधि का प्रभाव

(1) वायु आपूर्ति की गति

एकसमान वायु प्रवाह सुनिश्चित करने के लिए, यूनिडायरेक्शनल फ्लो क्लीन रूम में हवा की आपूर्ति की गति समान होनी चाहिए; हवा की आपूर्ति की सतह पर मृत क्षेत्र छोटा होना चाहिए; और HEPA फ़िल्टर के भीतर दबाव ड्रॉप भी समान होना चाहिए।

हवा की आपूर्ति की गति समान है: अर्थात, वायु प्रवाह की असमानता ± 20%के भीतर नियंत्रित होती है।

हवा की आपूर्ति की सतह पर कम मृत स्थान है: न केवल HEPA फ्रेम के विमान क्षेत्र को कम किया जाना चाहिए, बल्कि इससे भी महत्वपूर्ण बात यह है कि निरर्थक फ्रेम को सरल बनाने के लिए मॉड्यूलर FFU का उपयोग किया जाना चाहिए।

यह सुनिश्चित करने के लिए कि हवा का प्रवाह ऊर्ध्वाधर और यूनिडायरेक्शनल है, फिल्टर का दबाव ड्रॉप चयन भी बहुत महत्वपूर्ण है, और यह आवश्यक है कि फ़िल्टर के भीतर दबाव हानि पक्षपाती नहीं किया जा सकता है।

(2) एफएफयू सिस्टम और अक्षीय प्रवाह प्रशंसक प्रणाली के बीच तुलना

FFU एक प्रशंसक और HEPA फ़िल्टर के साथ एक वायु आपूर्ति इकाई है। एफएफयू के केन्द्रापसारक प्रशंसक द्वारा हवा को चूसा जाता है और गतिशील दबाव को हवा की नलिका में स्थिर दबाव में परिवर्तित करता है। यह HEPA फ़िल्टर द्वारा समान रूप से उड़ा दिया जाता है। छत पर हवा की आपूर्ति का दबाव नकारात्मक दबाव है। इस तरह से कोई धूल फ़िल्टर की जगह लेने पर साफ कमरे में लीक नहीं होगी। प्रयोगों से पता चला है कि एफएफयू प्रणाली वायु आउटलेट एकरूपता, वायु प्रवाह समानांतरवाद और वेंटिलेशन दक्षता सूचकांक के संदर्भ में अक्षीय प्रवाह प्रशंसक प्रणाली से बेहतर है। ऐसा इसलिए है क्योंकि एफएफयू प्रणाली का वायु प्रवाह समानता बेहतर है। एफएफयू प्रणाली का उपयोग स्वच्छ कमरे में वायु प्रवाह संगठन में सुधार कर सकता है।

(3) एफएफयू की अपनी संरचना का प्रभाव

एफएफयू मुख्य रूप से प्रशंसकों, फिल्टर, वायु प्रवाह गाइड और अन्य घटकों से बना है। HEPA फ़िल्टर डिजाइन द्वारा आवश्यक स्वच्छता प्राप्त करने के लिए स्वच्छ कमरे के लिए सबसे महत्वपूर्ण गारंटी है। फ़िल्टर की सामग्री प्रवाह क्षेत्र की एकरूपता को भी प्रभावित करेगी। जब एक मोटा फिल्टर सामग्री या एक प्रवाह प्लेट फिल्टर आउटलेट में जोड़ा जाता है, तो आउटलेट प्रवाह क्षेत्र को आसानी से समान बनाया जा सकता है।

2। अलग -अलग स्वच्छता के साथ स्पीड इंटरफेस का प्रभाव

एक ही साफ कमरे में, कार्य क्षेत्र और ऊर्ध्वाधर यूनिडायरेक्शनल प्रवाह के साथ गैर-काम करने वाले क्षेत्र के बीच, HEPA बॉक्स में हवा की गति में अंतर के कारण, इंटरफ़ेस में एक मिश्रित भंवर प्रभाव होगा, और यह इंटरफ़ेस एक अशांत हो जाएगा एयरफ्लो ज़ोन। हवा की अशांति की तीव्रता विशेष रूप से मजबूत है, और कणों को उपकरण मशीन की सतह पर प्रेषित किया जा सकता है और उपकरण और वेफर्स को दूषित किया जा सकता है।

3। कर्मचारियों और उपकरणों पर प्रभाव

जब साफ कमरा खाली होता है, तो कमरे में वायु प्रवाह की विशेषताएं आम तौर पर डिजाइन आवश्यकताओं को पूरा करती हैं। एक बार जब उपकरण क्लीनरूम में प्रवेश करते हैं, तो लोग चलते हैं, और उत्पादों को ले जाया जाता है, वायु प्रवाह संगठन के लिए अनिवार्य रूप से बाधाएं होती हैं, जैसे कि उपकरण मशीन से तेज बिंदु। कोनों या किनारों पर, गैस एक अशांत प्रवाह क्षेत्र बनाने के लिए डायवर्ट करेगी, और क्षेत्र में तरल पदार्थ को आने वाली गैस द्वारा आसानी से दूर नहीं किया जाएगा, इस प्रकार प्रदूषण का कारण बन जाएगा।

इसी समय, यांत्रिक उपकरणों की सतह को निरंतर संचालन के कारण गर्म किया जाएगा, और तापमान ढाल मशीन के पास एक रिफ्लो क्षेत्र का कारण बनेगा, जो रिफ्लो क्षेत्र में कणों के संचय को बढ़ाता है। इसी समय, उच्च तापमान आसानी से कणों को बच जाएगा। दोहरी प्रभाव समग्र ऊर्ध्वाधर परत को तेज करता है। धारा स्वच्छता को नियंत्रित करने की कठिनाई। क्लीन रूम में ऑपरेटरों से धूल आसानी से इन रिफ्लो क्षेत्रों में वेफर्स का पालन कर सकती है।

4। वापसी हवा के फर्श का प्रभाव

जब फर्श से गुजरने वाली वापसी हवा का प्रतिरोध अलग -अलग होता है, तो दबाव का अंतर होता है, जिससे हवा छोटे प्रतिरोध की दिशा में प्रवाहित होती है, और समान वायु प्रवाह प्राप्त नहीं किया जाएगा। वर्तमान लोकप्रिय डिजाइन विधि एक ऊंचे फर्श का उपयोग करना है। जब ऊंचा मंजिल का उद्घाटन अनुपात 10%पर होता है, तो वायु प्रवाह वेग को इनडोर कामकाजी ऊंचाई पर समान रूप से वितरित किया जा सकता है। इसके अलावा, फर्श पर प्रदूषण के स्रोत को कम करने के लिए सफाई के काम पर सख्त ध्यान दिया जाना चाहिए।

5। प्रेरण घटना

तथाकथित इंडक्शन घटना एक समान प्रवाह के विपरीत दिशा में एयरफ्लो उत्पन्न करने की घटना को संदर्भित करती है, जो कि आसन्न दूषित क्षेत्रों में कमरे या धूल में उत्पन्न धूल को प्रेरित करती है, जिससे धूल वेफर को दूषित कर देती है। संभावित प्रेरित घटनाओं में निम्नलिखित शामिल हैं:

(१) ब्लाइंड प्लेट

ऊर्ध्वाधर एक-तरफ़ा प्रवाह के साथ एक साफ कमरे में, दीवार पर जोड़ों के कारण, आम तौर पर बड़े अंधे पैनल होते हैं जो अशांत प्रवाह और स्थानीय बैकफ्लो का उत्पादन करेंगे।

(२) लैंप

क्लीन रूम में लाइटिंग फिक्स्चर का अधिक प्रभाव पड़ेगा। चूंकि फ्लोरोसेंट लैंप की गर्मी एयरफ्लो के बढ़ने का कारण बनती है, फ्लोरोसेंट लैंप एक अशांत क्षेत्र नहीं बन जाएगा। आम तौर पर, क्लीन रूम में लैंप एयरफ्लो संगठन पर लैंप के प्रभाव को कम करने के लिए एक अश्रु आकार में डिज़ाइन किए गए हैं।

(3) दीवारों के बीच अंतराल

जब अलग -अलग स्वच्छता आवश्यकताओं के साथ विभाजन की दीवारों या छत के बीच अंतराल होते हैं, तो कम स्वच्छता आवश्यकताओं वाले क्षेत्रों से धूल को उच्च स्वच्छता आवश्यकताओं के साथ आसन्न क्षेत्रों में स्थानांतरित किया जा सकता है।

(४) यांत्रिक उपकरण और फर्श या दीवार के बीच की दूरी

यदि यांत्रिक उपकरण और फर्श या दीवार के बीच की खाई छोटी है, तो रिबाउंड अशांति होगी। इसलिए, उपकरण और दीवार के बीच एक अंतर छोड़ दें और जमीन के साथ सीधे संपर्क से बचने के लिए मशीन प्लेटफॉर्म को बढ़ाएं।