क्लीन रूम में एयरफ्लो संगठन को प्रभावित करने वाले कारक क्या हैं?

आईसी विनिर्माण उद्योग में चिप उपज दर चिप पर जमा हवा के कणों के आकार और संख्या से निकटता से संबंधित है। एक अच्छा एयरफ्लो संगठन स्वच्छ कमरे की सफाई सुनिश्चित करने के लिए स्वच्छ कमरे से दूर धूल के स्रोत द्वारा उत्पन्न कणों को ले सकता है, अर्थात, क्लीन रूम में एयरफ्लो संगठन आईसी उत्पादन की उपज दर में एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है। क्लीन रूम में एयरफ्लो संगठन के डिजाइन को निम्नलिखित लक्ष्यों को प्राप्त करने की आवश्यकता है: हानिकारक कणों की अवधारण से बचने के लिए प्रवाह क्षेत्र में एडी करंट को कम या समाप्त करना; क्रॉस संदूषण को रोकने के लिए एक उपयुक्त सकारात्मक दबाव ढाल बनाए रखें।

वायुप्रवाह बल

क्लीन रूम सिद्धांत के अनुसार, कणों पर काम करने वाले बलों में द्रव्यमान बल, आणविक बल, कणों के बीच आकर्षण, एयरफ्लो बल, आदि शामिल हैं।

AirFlow Force: डिलीवरी के कारण होने वाले एयरफ्लो के बल को संदर्भित करता है, कणों को ले जाने के लिए एक निश्चित प्रवाह दर के साथ एयरफ्लो, थर्मल संवहन एयरफ्लो, कृत्रिम सरगर्मी और अन्य एयरफ्लो को वापस करता है। स्वच्छ कमरे के वातावरण के तकनीकी नियंत्रण के लिए, एयरफ्लो बल सबसे महत्वपूर्ण कारक है।

प्रयोगों से पता चला है कि एयरफ्लो आंदोलन में, कण लगभग उसी गति से एयरफ्लो आंदोलन का पालन करते हैं। हवा में कणों की स्थिति एयरफ्लो वितरण द्वारा निर्धारित की जाती है। इनडोर कणों को प्रभावित करने वाले एयरफ्लो में मुख्य रूप से शामिल हैं: एयर सप्लाई एयरफ्लो (प्राथमिक एयरफ्लो और सेकेंडरी एयरफ्लो सहित), एयरफ्लो और थर्मल संवहन एयरफ्लो, जो लोगों के चलने के कारण होता है, और प्रक्रिया संचालन और औद्योगिक उपकरणों के कारण एयरफ्लो होता है। विभिन्न वायु आपूर्ति के तरीके, स्पीड इंटरफेस, ऑपरेटर और औद्योगिक उपकरण, और स्वच्छ कमरों में प्रेरित घटनाएं सभी स्वच्छता स्तर को प्रभावित करने वाले कारक हैं।

एयरफ्लो संगठन को प्रभावित करने वाले कारक

1। वायु आपूर्ति विधि का प्रभाव

(1)। वायु -आपूर्ति गति

एक समान एयरफ्लो सुनिश्चित करने के लिए, हवा की आपूर्ति की गति एक यूनिडायरेक्शनल स्वच्छ कमरे में समान होनी चाहिए; वायु आपूर्ति की सतह का मृत क्षेत्र छोटा होना चाहिए; और ULPA में दबाव ड्रॉप भी समान होना चाहिए।

एक समान वायु आपूर्ति की गति: अर्थात्, एयरफ्लो की असमानता ± 20%के भीतर नियंत्रित होती है।

हवा की आपूर्ति की सतह पर कम मृत क्षेत्र: न केवल ULPA फ्रेम के विमान क्षेत्र को कम किया जाना चाहिए, बल्कि इससे भी महत्वपूर्ण बात यह है कि निरर्थक फ्रेम को सरल बनाने के लिए मॉड्यूलर FFU को अपनाया जाना चाहिए।

ऊर्ध्वाधर यूनिडायरेक्शनल एयरफ्लो को सुनिश्चित करने के लिए, फिल्टर का दबाव ड्रॉप चयन भी बहुत महत्वपूर्ण है, जिससे फ़िल्टर में दबाव हानि विचलित नहीं हो सकती है।

(२)। FFU सिस्टम और अक्षीय प्रवाह प्रशंसक प्रणाली के बीच तुलना

FFU एक प्रशंसक और एक फ़िल्टर (ULPA) के साथ एक वायु आपूर्ति इकाई है। एफएफयू के केन्द्रापसारक प्रशंसक द्वारा हवा को चूसा जाने के बाद, गतिशील दबाव को हवा की नलिका में स्थिर दबाव में बदल दिया जाता है और उल्पा द्वारा समान रूप से उड़ा दिया जाता है। छत पर हवा की आपूर्ति का दबाव नकारात्मक दबाव है, ताकि फिल्टर को बदलने पर कोई धूल साफ कमरे में लीक न हो। प्रयोगों से पता चला है कि एफएफयू प्रणाली एयर आउटलेट एकरूपता, एयरफ्लो समानता और वेंटिलेशन दक्षता सूचकांक के संदर्भ में अक्षीय प्रवाह प्रशंसक प्रणाली से बेहतर है। ऐसा इसलिए है क्योंकि एफएफयू प्रणाली का एयरफ्लो समानता बेहतर है। FFU सिस्टम का उपयोग साफ कमरे में एयरफ्लो को बेहतर ढंग से व्यवस्थित कर सकता है।

(३)। एफएफयू की अपनी संरचना का प्रभाव

एफएफयू मुख्य रूप से प्रशंसकों, फिल्टर, एयरफ्लो गाइड उपकरणों और अन्य घटकों से बना है। अल्ट्रा-हाई दक्षता फ़िल्टर ULPA सबसे महत्वपूर्ण गारंटी है कि क्या स्वच्छ कमरा डिजाइन की आवश्यक स्वच्छता प्राप्त कर सकता है। फ़िल्टर की सामग्री प्रवाह क्षेत्र की एकरूपता को भी प्रभावित करेगी। जब एक मोटे फ़िल्टर सामग्री या एक लामिना प्रवाह प्लेट को फिल्टर आउटलेट में जोड़ा जाता है, तो आउटलेट प्रवाह क्षेत्र को आसानी से समान बनाया जा सकता है।

2। स्वच्छता के विभिन्न गति इंटरफेस का प्रभाव

एक ही साफ कमरे में, कार्य क्षेत्र और ऊर्ध्वाधर यूनिडायरेक्शनल प्रवाह के गैर-कार्यशील क्षेत्र के बीच, ULPA आउटलेट में हवा की गति में अंतर के कारण, इंटरफ़ेस में एक मिश्रित भंवर प्रभाव उत्पन्न होगा, और यह इंटरफ़ेस एक अशांत हो जाएगा विशेष रूप से उच्च वायु अशांति की तीव्रता के साथ वायु प्रवाह क्षेत्र। कणों को उपकरण की सतह पर प्रेषित किया जा सकता है और उपकरण और वेफर्स को दूषित किया जा सकता है।

3। कर्मचारियों और उपकरणों का प्रभाव

जब साफ कमरा खाली होता है, तो कमरे में हवा का प्रवाह विशेषताएं आम तौर पर डिजाइन आवश्यकताओं को पूरा करती हैं। एक बार जब उपकरण स्वच्छ कमरे में प्रवेश करते हैं, तो कर्मियों को स्थानांतरित किया जाता है और उत्पाद प्रसारित हो जाते हैं, अनिवार्य रूप से वायु प्रवाह संगठन में बाधाएं होंगी। उदाहरण के लिए, उपकरणों के फैलाने वाले कोनों या किनारों पर, गैस को एक अशांत क्षेत्र बनाने के लिए डायवर्ट किया जाएगा, और ज़ोन में द्रव को गैस द्वारा आसानी से दूर नहीं किया जाता है, इस प्रकार प्रदूषण का कारण बनता है। इसी समय, उपकरण की सतह निरंतर संचालन के कारण गर्म हो जाएगी, और तापमान ढाल मशीन के पास एक रिफ्लो ज़ोन का कारण बनेगा, जो रिफ्लो ज़ोन में कणों के संचय को बढ़ाएगा। इसी समय, उच्च तापमान आसानी से कणों को बच जाएगा। दोहरी प्रभाव समग्र ऊर्ध्वाधर लामिना की सफाई को नियंत्रित करने की कठिनाई को बढ़ाता है। क्लीन रूम में ऑपरेटरों से धूल इन रिफ्लो ज़ोन में वेफर्स का पालन करना बहुत आसान है।

4। वापसी हवा के फर्श का प्रभाव

जब फर्श से गुजरने वाली वापसी हवा का प्रतिरोध अलग होता है, तो एक दबाव अंतर उत्पन्न होगा, ताकि हवा कम प्रतिरोध की दिशा में बह जाए, और समान एयरफ्लो प्राप्त नहीं किया जाएगा। वर्तमान लोकप्रिय डिजाइन विधि ऊंचे फर्श का उपयोग करना है। जब ऊंचे फर्श की शुरुआती दर 10%होती है, तो कमरे की कामकाजी ऊंचाई में एयरफ्लो वेग को समान रूप से वितरित किया जा सकता है। इसके अलावा, फर्श के प्रदूषण स्रोत को कम करने के लिए सफाई के काम पर सख्त ध्यान दिया जाना चाहिए।

5। प्रेरण घटना

तथाकथित प्रेरण घटना इस घटना को संदर्भित करती है कि समान प्रवाह की विपरीत दिशा में एयरफ्लो उत्पन्न होता है, और कमरे में उत्पन्न धूल या आसन्न दूषित क्षेत्र में धूल को ऊपर की ओर से प्रेरित किया जाता है, ताकि धूल धूल हो चिप को दूषित कर सकते हैं। निम्नलिखित संभावित प्रेरण घटनाएं हैं:

(1)। ब्लाइंड प्लेट

ऊर्ध्वाधर यूनिडायरेक्शनल प्रवाह के साथ एक साफ कमरे में, दीवार पर जोड़ों के कारण, आम तौर पर बड़ी अंधे प्लेटें होती हैं जो स्थानीय रिटर्न प्रवाह में अशांति पैदा करती हैं।

(२)। लैंप

क्लीन रूम में लाइटिंग फिक्स्चर का अधिक प्रभाव पड़ेगा। चूंकि फ्लोरोसेंट लैंप की गर्मी एयरफ्लो के बढ़ने का कारण बनती है, इसलिए फ्लोरोसेंट लैंप के नीचे कोई अशांत क्षेत्र नहीं होगा। आम तौर पर, क्लीन रूम में लैंप एयरफ्लो संगठन पर लैंप के प्रभाव को कम करने के लिए एक अश्रु आकार में डिज़ाइन किए गए हैं।

(3.) दीवारों के बीच अंतराल

जब अलग -अलग स्वच्छता स्तरों के साथ या विभाजन और छत के बीच विभाजन के बीच अंतराल होते हैं, तो कम स्वच्छता आवश्यकताओं वाले क्षेत्र से धूल को उच्च स्वच्छता आवश्यकताओं के साथ आसन्न क्षेत्र में स्थानांतरित किया जा सकता है।

(४)। मशीन और फर्श या दीवार के बीच की दूरी

यदि मशीन और फर्श या दीवार के बीच का अंतर बहुत छोटा है, तो यह रिबाउंड अशांति का कारण होगा। इसलिए, उपकरण और दीवार के बीच एक अंतर छोड़ दें और मशीन को सीधे जमीन को छूने से बचने के लिए मशीन को ऊपर उठाएं।