स्वच्छ कमरे में तापमान और वायु दाब नियंत्रण

पर्यावरण संरक्षण पर अधिक से अधिक ध्यान दिया जा रहा है, खासकर धुंध के बढ़ते मौसम के साथ। स्वच्छ कक्ष इंजीनियरिंग पर्यावरण संरक्षण के उपायों में से एक है। पर्यावरण संरक्षण में बेहतर कार्य करने के लिए स्वच्छ कक्ष इंजीनियरिंग का उपयोग कैसे करें? आइए स्वच्छ कक्ष इंजीनियरिंग में नियंत्रण के बारे में बात करते हैं।

स्वच्छ कमरे में तापमान और आर्द्रता नियंत्रण

स्वच्छ स्थानों का तापमान और आर्द्रता मुख्यतः प्रक्रिया आवश्यकताओं के आधार पर निर्धारित की जाती है, लेकिन प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा करते समय, मानव आराम को भी ध्यान में रखा जाना चाहिए। वायु स्वच्छता आवश्यकताओं में सुधार के साथ, प्रक्रिया में तापमान और आर्द्रता के लिए सख्त आवश्यकताओं का चलन बढ़ रहा है।

एक सामान्य सिद्धांत के रूप में, प्रसंस्करण की बढ़ती सटीकता के कारण, तापमान में उतार-चढ़ाव की सीमा की आवश्यकताएँ लगातार कम होती जा रही हैं। उदाहरण के लिए, बड़े पैमाने पर एकीकृत परिपथ उत्पादन की लिथोग्राफी और एक्सपोज़र प्रक्रिया में, मास्क सामग्री के रूप में प्रयुक्त काँच और सिलिकॉन वेफर्स के बीच तापीय प्रसार गुणांक का अंतर लगातार कम होता जा रहा है।

100 माइक्रोमीटर व्यास वाला एक सिलिकॉन वेफर, तापमान में 1 डिग्री की वृद्धि होने पर 0.24 माइक्रोमीटर का रैखिक विस्तार करता है। इसलिए, ± 0.1 डिग्री सेल्सियस का एक स्थिर तापमान आवश्यक है, और आर्द्रता का मान आमतौर पर कम होता है क्योंकि पसीने के बाद, उत्पाद दूषित हो जाएगा, खासकर अर्धचालक कार्यशालाओं में जहाँ सोडियम का डर होता है। इस प्रकार की कार्यशाला का तापमान 25 डिग्री सेल्सियस से अधिक नहीं होना चाहिए।

अत्यधिक आर्द्रता अधिक समस्याएँ पैदा करती है। जब सापेक्ष आर्द्रता 55% से अधिक हो जाती है, तो शीतलन जल पाइप की दीवार पर संघनन बन जाएगा। यदि यह परिशुद्धता उपकरणों या सर्किट में होता है, तो यह विभिन्न दुर्घटनाओं का कारण बन सकता है। जब सापेक्ष आर्द्रता 50% होती है, तो जंग लगना आसान होता है। इसके अलावा, जब आर्द्रता बहुत अधिक होती है, तो सिलिकॉन वेफर की सतह पर चिपकी धूल हवा में पानी के अणुओं के माध्यम से सतह पर रासायनिक रूप से अवशोषित हो जाती है, जिसे हटाना मुश्किल होता है।

सापेक्ष आर्द्रता जितनी अधिक होगी, आसंजन को हटाना उतना ही कठिन होगा। हालाँकि, जब सापेक्ष आर्द्रता 30% से कम होती है, तो स्थिरवैद्युत बल की क्रिया के कारण कण सतह पर आसानी से अवशोषित हो जाते हैं, और बड़ी संख्या में अर्धचालक उपकरणों के टूटने का खतरा बढ़ जाता है। सिलिकॉन वेफर उत्पादन के लिए इष्टतम तापमान सीमा 35-45% है।

वायु दाबनियंत्रणसाफ कमरे में 

अधिकांश स्वच्छ स्थानों में, बाहरी प्रदूषण के प्रवेश को रोकने के लिए, आंतरिक दबाव (स्थैतिक दबाव) को बाहरी दबाव (स्थैतिक दबाव) से अधिक बनाए रखना आवश्यक है। दबाव अंतर के रखरखाव में सामान्यतः निम्नलिखित सिद्धांतों का पालन किया जाना चाहिए:

1. स्वच्छ स्थानों में दबाव अस्वच्छ स्थानों की तुलना में अधिक होना चाहिए।

2. उच्च स्वच्छता स्तर वाले स्थानों में दबाव, कम स्वच्छता स्तर वाले आसन्न स्थानों की तुलना में अधिक होना चाहिए।

3. स्वच्छ कमरों के बीच के दरवाजे उच्च स्वच्छता स्तर वाले कमरों की ओर खुलने चाहिए।

दाब अंतर का रखरखाव ताज़ी हवा की मात्रा पर निर्भर करता है, जो इस दाब अंतर के अंतर्गत अंतराल से होने वाले वायु रिसाव की भरपाई करने में सक्षम होनी चाहिए। इसलिए दाब अंतर का भौतिक अर्थ स्वच्छ कमरे में विभिन्न अंतरालों से रिसाव (या घुसपैठ) वायु प्रवाह का प्रतिरोध है।