साफ कमरे में तापमान और वायु दबाव नियंत्रण

पर्यावरण संरक्षण पर अधिक से अधिक ध्यान दिया जा रहा है, विशेषकर धुंध के मौसम के बढ़ने के साथ। स्वच्छ कक्ष इंजीनियरिंग पर्यावरण संरक्षण उपायों में से एक है। पर्यावरण संरक्षण में अच्छा काम करने के लिए क्लीन रूम इंजीनियरिंग का उपयोग कैसे करें? आइये स्वच्छ कक्ष इंजीनियरिंग में नियंत्रण के बारे में बात करते हैं।

साफ कमरे में तापमान और आर्द्रता नियंत्रण

स्वच्छ स्थानों का तापमान और आर्द्रता मुख्य रूप से प्रक्रिया आवश्यकताओं के आधार पर निर्धारित की जाती है, लेकिन प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा करते समय, मानव आराम को ध्यान में रखा जाना चाहिए। वायु स्वच्छता आवश्यकताओं में सुधार के साथ, प्रक्रिया में तापमान और आर्द्रता के लिए सख्त आवश्यकताओं की प्रवृत्ति है।

एक सामान्य सिद्धांत के रूप में, प्रसंस्करण की बढ़ती सटीकता के कारण, तापमान में उतार-चढ़ाव की सीमा की आवश्यकताएं छोटी और छोटी होती जा रही हैं। उदाहरण के लिए, बड़े पैमाने पर एकीकृत सर्किट उत्पादन की लिथोग्राफी और एक्सपोज़र प्रक्रिया में, मास्क सामग्री के रूप में उपयोग किए जाने वाले ग्लास और सिलिकॉन वेफर्स के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर तेजी से छोटा होता जा रहा है।

100 μm व्यास वाला एक सिलिकॉन वेफर तापमान 1 डिग्री बढ़ने पर 0.24 μm का रैखिक विस्तार करता है। इसलिए, ± 0.1 ℃ का निरंतर तापमान आवश्यक है, और आर्द्रता का मान आम तौर पर कम होता है क्योंकि पसीने के बाद, उत्पाद दूषित हो जाएगा, खासकर अर्धचालक कार्यशालाओं में जो सोडियम से डरते हैं। इस प्रकार की कार्यशाला का तापमान 25℃ से अधिक नहीं होना चाहिए।

अत्यधिक नमी अधिक समस्या उत्पन्न करती है। जब सापेक्ष आर्द्रता 55% से अधिक हो जाती है, तो शीतलन जल पाइप की दीवार पर संघनन बनेगा। यदि यह सटीक उपकरणों या सर्किट में होता है, तो यह विभिन्न दुर्घटनाओं का कारण बन सकता है। जब सापेक्ष आर्द्रता 50% होती है, तो जंग लगना आसान होता है। इसके अलावा, जब आर्द्रता बहुत अधिक होती है, तो सिलिकॉन वेफर की सतह पर चिपकी धूल हवा में पानी के अणुओं के माध्यम से सतह पर रासायनिक रूप से सोख ली जाएगी, जिसे निकालना मुश्किल होता है।

सापेक्ष आर्द्रता जितनी अधिक होगी, आसंजन को हटाना उतना ही कठिन होगा। हालाँकि, जब सापेक्ष आर्द्रता 30% से कम होती है, तो इलेक्ट्रोस्टैटिक बल की कार्रवाई के कारण कण भी सतह पर आसानी से सोख लिए जाते हैं, और बड़ी संख्या में अर्धचालक उपकरणों के टूटने का खतरा होता है। सिलिकॉन वेफर उत्पादन के लिए इष्टतम तापमान सीमा 35-45% है।

वायुदाबनियंत्रणसाफ़ कमरे में 

अधिकांश स्वच्छ स्थानों के लिए, बाहरी प्रदूषण को आक्रमण से रोकने के लिए, बाहरी दबाव (स्थैतिक दबाव) से अधिक आंतरिक दबाव (स्थैतिक दबाव) बनाए रखना आवश्यक है। दबाव अंतर का रखरखाव आम तौर पर निम्नलिखित सिद्धांतों का पालन करना चाहिए:

1. स्वच्छ स्थानों में दबाव गैर साफ स्थानों की तुलना में अधिक होना चाहिए।

2. उच्च स्वच्छता स्तर वाले स्थानों में दबाव कम स्वच्छता स्तर वाले निकटवर्ती स्थानों की तुलना में अधिक होना चाहिए।

3. साफ-सुथरे कमरों के बीच के दरवाजे उच्च स्वच्छता स्तर वाले कमरों की ओर खुलने चाहिए।

दबाव अंतर का रखरखाव ताजी हवा की मात्रा पर निर्भर करता है, जो इस दबाव अंतर के तहत अंतराल से हवा के रिसाव की भरपाई करने में सक्षम होना चाहिए। तो दबाव अंतर का भौतिक अर्थ स्वच्छ कमरे में विभिन्न अंतरालों के माध्यम से रिसाव (या घुसपैठ) वायु प्रवाह का प्रतिरोध है।