स्वच्छ कमरे में तापमान और हवा का दबाव नियंत्रण

पर्यावरण संरक्षण को अधिक से अधिक ध्यान दिया जाता है, विशेष रूप से धुंध के मौसम में वृद्धि के साथ। क्लीन रूम इंजीनियरिंग पर्यावरण संरक्षण उपायों में से एक है। पर्यावरण संरक्षण में एक अच्छा काम करने के लिए स्वच्छ कमरे इंजीनियरिंग का उपयोग कैसे करें? आइए क्लीन रूम इंजीनियरिंग में नियंत्रण के बारे में बात करते हैं।

स्वच्छ कमरे में तापमान और आर्द्रता नियंत्रण

स्वच्छ स्थानों का तापमान और आर्द्रता मुख्य रूप से प्रक्रिया आवश्यकताओं के आधार पर निर्धारित की जाती है, लेकिन प्रक्रिया की आवश्यकताओं को पूरा करते समय, मानव आराम को ध्यान में रखा जाना चाहिए। हवा की स्वच्छता आवश्यकताओं में सुधार के साथ, प्रक्रिया में तापमान और आर्द्रता के लिए सख्त आवश्यकताओं की प्रवृत्ति है।

एक सामान्य सिद्धांत के रूप में, प्रसंस्करण की बढ़ती सटीकता के कारण, तापमान में उतार -चढ़ाव सीमा की आवश्यकताएं छोटी और छोटी होती जा रही हैं। उदाहरण के लिए, बड़े पैमाने पर एकीकृत सर्किट उत्पादन की लिथोग्राफी और एक्सपोज़र प्रक्रिया में, मास्क सामग्री के रूप में उपयोग किए जाने वाले कांच और सिलिकॉन वेफर्स के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर तेजी से छोटा होता जा रहा है।

100 μ मीटर के व्यास के साथ एक सिलिकॉन वेफर 0.24 μ मीटर के रैखिक विस्तार का कारण बनता है जब तापमान 1 डिग्री तक बढ़ जाता है। इसलिए, ± 0.1 ℃ का एक निरंतर तापमान आवश्यक है, और आर्द्रता मूल्य आम तौर पर कम होता है क्योंकि पसीने के बाद, उत्पाद दूषित हो जाएगा, विशेष रूप से अर्धचालक कार्यशालाओं में जो सोडियम से डरते हैं। इस प्रकार की कार्यशाला 25 ℃ से अधिक नहीं होनी चाहिए।

अत्यधिक आर्द्रता अधिक समस्याओं का कारण बनती है। जब सापेक्ष आर्द्रता 55%से अधिक हो जाती है, तो ठंडा पानी की पाइप की दीवार पर संक्षेपण होगा। यदि यह सटीक उपकरणों या सर्किट में होता है, तो यह विभिन्न दुर्घटनाओं का कारण बन सकता है। जब सापेक्ष आर्द्रता 50%होती है, तो जंग करना आसान होता है। इसके अलावा, जब आर्द्रता बहुत अधिक होती है, तो सिलिकॉन वेफर की सतह का पालन करने वाली धूल हवा में पानी के अणुओं के माध्यम से सतह पर रासायनिक रूप से adsorbed होगी, जिसे हटाना मुश्किल है।

सापेक्ष आर्द्रता जितनी अधिक होगी, आसंजन को दूर करना उतना ही कठिन होगा। हालांकि, जब सापेक्ष आर्द्रता 30%से नीचे होती है, तो इलेक्ट्रोस्टैटिक बल की कार्रवाई के कारण कणों को सतह पर आसानी से सोखने की जाती है, और बड़ी संख्या में अर्धचालक उपकरणों को टूटने का खतरा होता है। सिलिकॉन वेफर उत्पादन के लिए इष्टतम तापमान रेंज 35-45%है।

हवा का दबावनियंत्रणस्वच्छ कमरे में 

अधिकांश स्वच्छ स्थानों के लिए, बाहरी प्रदूषण को आक्रमण से रोकने के लिए, आंतरिक दबाव (स्थिर दबाव) को बाहरी दबाव (स्थैतिक दबाव) से अधिक बनाए रखना आवश्यक है। दबाव अंतर के रखरखाव को आम तौर पर निम्नलिखित सिद्धांतों का पालन करना चाहिए:

1। साफ स्थानों में दबाव गैर -स्वच्छ स्थानों की तुलना में अधिक होना चाहिए।

2। उच्च स्वच्छता स्तर वाले रिक्त स्थान में दबाव कम स्वच्छता स्तरों के साथ आसन्न स्थानों की तुलना में अधिक होना चाहिए।

3। साफ कमरे के बीच के दरवाजों को उच्च स्वच्छता स्तरों वाले कमरों की ओर खोला जाना चाहिए।

दबाव अंतर का रखरखाव ताजा हवा की मात्रा पर निर्भर करता है, जो इस दबाव के अंतर के तहत अंतराल से हवा के रिसाव की भरपाई करने में सक्षम होना चाहिए। तो दबाव अंतर का भौतिक अर्थ स्वच्छ कमरे में विभिन्न अंतरालों के माध्यम से रिसाव (या घुसपैठ) वायु प्रवाह का प्रतिरोध है।