क्लीन रूम स्वच्छता वर्गीकरण का परिचय

क्लीनरूम एक ऐसा कमरा होता है जिसमें हवा में निलंबित कणों की सांद्रता को नियंत्रित किया जाता है। इसके निर्माण और उपयोग से कमरे के भीतर कणों के प्रवेश, उत्पादन और जमाव को कम किया जाना चाहिए। कमरे में तापमान, आर्द्रता और दबाव जैसे अन्य प्रासंगिक मापदंडों को आवश्यकतानुसार नियंत्रित किया जाना चाहिए। क्लीनरूम को हवा की प्रति इकाई आयतन में एक निश्चित आकार के कणों की संख्या के आधार पर विभाजित किया जाता है। इसे हवा में निलंबित कणों की सांद्रता के अनुसार भी विभाजित किया जाता है। सामान्यतः, मान जितना कम होगा, शुद्धिकरण का स्तर उतना ही उच्च होगा। अर्थात्, क्लास 10 > क्लास 100 > क्लास 10000 > क्लास 100000।

क्लास 100 क्लीनरूम के मानक में मुख्य रूप से ऑपरेशन रूम और फार्मास्युटिकल उद्योग के रोगाणुरहित विनिर्माण शामिल हैं।

0.1 माइक्रोन या उससे अधिक आकार के स्वच्छ कणों की अधिकतम संख्या 100 से अधिक नहीं हो सकती।

दाब अंतर, तापमान और आर्द्रता: तापमान 22℃±2; आर्द्रता 55%±5; मूलतः, इसे पूरी तरह से एफएफयू से ढकना और ऊंचे फर्श बनाना आवश्यक है। एमएयू+एफएफयू+डीसी प्रणाली स्थापित करें। साथ ही धनात्मक दाब बनाए रखें, और आस-पास के कमरों का दाब प्रवणता लगभग 10pa सुनिश्चित करें।

प्रकाश व्यवस्था: धूल रहित स्वच्छ कमरों में अधिकांश कार्य सामग्री की बारीकियाँ निर्धारित होती हैं और ये सभी बंद कमरे होते हैं, इसलिए प्रकाश व्यवस्था की आवश्यकता हमेशा से ही अधिक रही है। स्थानीय प्रकाश व्यवस्था: इसका तात्पर्य किसी विशिष्ट स्थान की रोशनी बढ़ाने के लिए की गई प्रकाश व्यवस्था से है। हालांकि, आमतौर पर स्थानीय प्रकाश व्यवस्था का उपयोग केवल आंतरिक प्रकाश व्यवस्था में नहीं किया जाता है। मिश्रित प्रकाश व्यवस्था: इसका तात्पर्य कार्य सतह पर एक प्रकार की प्रकाश व्यवस्था और स्थानीय प्रकाश व्यवस्था के संयोजन से प्राप्त प्रकाश व्यवस्था से है, जिसमें सामान्य प्रकाश व्यवस्था कुल प्रकाश व्यवस्था का 10%-15% होनी चाहिए।

क्लास 1000 क्लीनरूम का मानक यह है कि प्रति घन मीटर 0.5 माइक्रोन से कम आकार के धूल कणों की संख्या 3,500 से कम रखी जाए, जो अंतरराष्ट्रीय धूल-मुक्त मानक ए स्तर के बराबर है। चिप उत्पादन और प्रसंस्करण में वर्तमान में उपयोग किए जाने वाले धूल-मुक्त मानक में क्लास ए की तुलना में धूल की मात्रा के लिए उच्चतर आवश्यकताएं हैं। ऐसे उच्च मानकों का उपयोग मुख्य रूप से कुछ उच्च-स्तरीय चिप्स के उत्पादन में किया जाता है। धूल कणों की संख्या को प्रति घन मीटर 1,000 के भीतर सख्ती से नियंत्रित किया जाता है, जिसे क्लीनरूम उद्योग में आमतौर पर क्लास 1000 के रूप में जाना जाता है।

अधिकांश स्वच्छ और धूल रहित कार्यशालाओं में, बाहरी प्रदूषण को प्रवेश करने से रोकने के लिए, आंतरिक दाब (स्थैतिक दाब) को बाहरी दाब (स्थैतिक दाब) से अधिक रखना आवश्यक है। दाब अंतर को बनाए रखने के लिए सामान्यतः निम्नलिखित सिद्धांतों का पालन करना चाहिए: स्वच्छ स्थान का दाब गैर-स्वच्छ स्थान के दाब से अधिक होना चाहिए; उच्च स्वच्छता स्तर वाले स्थान का दाब निम्न स्वच्छता स्तर वाले समीपवर्ती स्थान के दाब से अधिक होना चाहिए; जुड़े हुए स्वच्छ कमरों के बीच के दरवाजे उच्च स्वच्छता स्तर वाले कमरों की ओर खुले होने चाहिए। दाब अंतर को बनाए रखना ताजी हवा की मात्रा पर निर्भर करता है, जो इस दाब अंतर के अंतर्गत अंतरालों से निकलने वाली हवा की मात्रा की भरपाई करने में सक्षम होनी चाहिए। अतः, दाब अंतर का भौतिक अर्थ स्वच्छ कमरे में विभिन्न अंतरालों से गुजरते समय निकलने वाली (या प्रवेश करने वाली) हवा की मात्रा का प्रतिरोध है।

क्लास 10000 क्लीनरूम का अर्थ है कि 0.5um या उससे बड़े धूल कणों की संख्या 35,000 कण/m³ (35 कण/m³) से अधिक और 350 कण/m³ से कम है, और 5um या उससे बड़े धूल कणों की संख्या 300 कण/m³ (0.3 कण) से अधिक और 3,000 कण/m³ (3 कण) से कम है। इसमें दबाव अंतर, तापमान और आर्द्रता नियंत्रण भी शामिल है।

तापमान और आर्द्रता ड्राई कॉइल सिस्टम नियंत्रण। एयर कंडीशनिंग बॉक्स, सेंसिंग सिग्नल के माध्यम से थ्री-वे वाल्व के खुलने को नियंत्रित करके एयर कंडीशनिंग बॉक्स कॉइल के जल सेवन को समायोजित करता है।

100000 श्रेणी के क्लीनरूम का अर्थ है कि कार्यशाला में प्रति घन मीटर कणों की संख्या 100,000 के भीतर नियंत्रित की जाती है। क्लीनरूम की उत्पादन कार्यशालाओं का उपयोग मुख्य रूप से इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग और फार्मास्युटिकल उद्योग में किया जाता है। खाद्य उद्योग के लिए भी 100,000 श्रेणी की उत्पादन कार्यशाला उपयुक्त है। 100,000 श्रेणी के क्लीनरूम में प्रति घंटे 15-19 बार वायु परिवर्तन की आवश्यकता होती है। पूर्ण वेंटिलेशन के बाद, वायु शोधन का समय 40 मिनट से अधिक नहीं होना चाहिए।

समान स्वच्छता स्तर वाले स्वच्छ कमरों के बीच दाब अंतर को एकसमान रखा जाना चाहिए। अलग-अलग स्वच्छता स्तर वाले आस-पास के स्वच्छ कमरों के बीच दाब अंतर 5 Pa होना चाहिए, और स्वच्छ कमरों और गैर-स्वच्छ कमरों के बीच दाब अंतर > 10 Pa होना चाहिए।

तापमान और आर्द्रता: जब 100,000 श्रेणी के स्वच्छ कक्ष में तापमान और आर्द्रता के लिए कोई विशेष आवश्यकता न हो, तो स्वच्छ कार्य वस्त्र पहनना उचित है, जिसमें असुविधा न हो। सर्दियों में तापमान आमतौर पर 20-22°C और गर्मियों में 24-26°C के बीच नियंत्रित किया जाता है, जिसमें ±2°C का उतार-चढ़ाव हो सकता है। सर्दियों में स्वच्छ कक्षों की आर्द्रता 30-50% और गर्मियों में 50-70% के बीच नियंत्रित की जाती है। स्वच्छ कक्षों (क्षेत्रों) में मुख्य उत्पादन कक्षों का प्रकाश स्तर आमतौर पर >300Lx होना चाहिए; सहायक स्टूडियो, कार्मिक शुद्धिकरण और सामग्री शुद्धिकरण कक्ष, वायु कक्ष, गलियारे आदि का प्रकाश स्तर 200-300Lx होना चाहिए।