इलेक्ट्रॉनिक क्लीन रूम डिजाइन आवश्यकता

कणों के सख्त नियंत्रण के अलावा, चिप उत्पादन कार्यशालाओं, एकीकृत सर्किट धूल-मुक्त कार्यशालाओं और डिस्क निर्माण कार्यशालाओं जैसे इलेक्ट्रॉनिक स्वच्छ कक्षों में तापमान और आर्द्रता नियंत्रण, प्रकाश व्यवस्था और सूक्ष्म-झटके के लिए भी सख्त आवश्यकताएं होती हैं। उत्पादन उत्पादों पर स्थैतिक विद्युत के प्रभाव को सख्ती से दूर किया जाता है, ताकि स्वच्छ वातावरण में इलेक्ट्रॉनिक उत्पादों की उत्पादन प्रक्रिया की आवश्यकताओं को पूरा किया जा सके।

इलेक्ट्रॉनिक क्लीन रूम का तापमान और आर्द्रता उत्पादन प्रक्रिया की आवश्यकताओं के अनुसार निर्धारित की जानी चाहिए। जब ​​उत्पादन प्रक्रिया के लिए कोई विशिष्ट आवश्यकताएँ न हों, तो तापमान 20-26°C और सापेक्ष आर्द्रता 30%-70% हो सकती है। कर्मियों के क्लीन रूम और लिविंग रूम का तापमान 16-28°C हो सकता है। अंतर्राष्ट्रीय ISO मानकों के अनुरूप चीनी राष्ट्रीय मानक GB-50073 के अनुसार, इस प्रकार के क्लीन रूम का स्वच्छता स्तर 1-9 है। इनमें से, श्रेणी 1-5 में वायु प्रवाह का पैटर्न एकदिशीय या मिश्रित प्रवाह होता है; श्रेणी 6 में वायु प्रवाह का पैटर्न गैर-एकदिशीय प्रवाह होता है और वायु परिवर्तन 50-60 बार/घंटा होता है; श्रेणी 7 में वायु प्रवाह का प्रकार गैर-एकदिशीय प्रवाह होता है और वायु परिवर्तन 15-25 बार/घंटा होता है; श्रेणी 8-9 में वायु प्रवाह का प्रकार गैर-एकदिशीय प्रवाह होता है और वायु परिवर्तन 10-15 बार/घंटा होता है।

वर्तमान विशिष्टताओं के अनुसार, क्लास 10,000 इलेक्ट्रॉनिक क्लीन रूम के भीतर शोर का स्तर 65dB(A) से अधिक नहीं होना चाहिए।

1. इलेक्ट्रॉनिक क्लीन रूम में ऊर्ध्वाधर प्रवाह क्लीन रूम का पूर्ण अनुपात 60% से कम नहीं होना चाहिए, और क्षैतिज एकदिशीय प्रवाह क्लीन रूम का अनुपात 40% से कम नहीं होना चाहिए, अन्यथा यह आंशिक एकदिशीय प्रवाह होगा।

2. इलेक्ट्रॉनिक क्लीन रूम और बाहरी वातावरण के बीच स्थिर दाब अंतर 10Pa से कम नहीं होना चाहिए, और अलग-अलग वायु स्वच्छता वाले स्वच्छ क्षेत्रों और गैर-स्वच्छ क्षेत्रों के बीच स्थिर दाब अंतर 5Pa से कम नहीं होना चाहिए।

3. एक क्लास 10000 इलेक्ट्रॉनिक क्लीन रूम में ताजी हवा की मात्रा निम्नलिखित दो मदों के मान के बराबर होनी चाहिए।

4. आंतरिक धनात्मक दाब मान को बनाए रखने के लिए आवश्यक आंतरिक निकास वायु की मात्रा और ताजी वायु की मात्रा के योग की भरपाई करें।

5. यह सुनिश्चित करें कि प्रति व्यक्ति प्रति घंटे स्वच्छ कमरे में आपूर्ति की जाने वाली ताजी हवा की मात्रा 40 वर्ग मीटर से कम न हो।