इलेक्ट्रॉनिक क्लीन रूम डिज़ाइन आवश्यकता

कणों के सख्त नियंत्रण के अलावा, चिप उत्पादन कार्यशालाओं, एकीकृत परिपथ धूल-मुक्त कार्यशालाओं और डिस्क निर्माण कार्यशालाओं द्वारा दर्शाए गए इलेक्ट्रॉनिक स्वच्छ कक्षों में तापमान और आर्द्रता नियंत्रण, प्रकाश व्यवस्था और सूक्ष्म-आघात के लिए भी सख्त आवश्यकताएं हैं। उत्पादन उत्पादों पर स्थैतिक बिजली के प्रभाव को सख्ती से हटाया जाता है, ताकि पर्यावरण स्वच्छ वातावरण में इलेक्ट्रॉनिक उत्पादों की उत्पादन प्रक्रिया की आवश्यकताओं को पूरा कर सके।

इलेक्ट्रॉनिक क्लीन रूम का तापमान और आर्द्रता उत्पादन प्रक्रिया की आवश्यकताओं के अनुसार निर्धारित की जानी चाहिए। जब ​​उत्पादन प्रक्रिया के लिए कोई विशिष्ट आवश्यकताएँ न हों, तो तापमान 20-26°C और सापेक्ष आर्द्रता 30%-70% हो सकती है। कार्मिक क्लीन रूम और लिविंग रूम का तापमान 16-28°C हो सकता है। चीनी राष्ट्रीय मानक GB-50073 के अनुसार, जो अंतर्राष्ट्रीय ISO मानकों के अनुरूप है, इस प्रकार के क्लीन रूम का स्वच्छता स्तर 1-9 है। इनमें से, श्रेणी 1-5 में वायु प्रवाह पैटर्न एकदिशीय या मिश्रित प्रवाह होता है; श्रेणी 6 में वायु प्रवाह पैटर्न गैर-एकदिशीय होता है और वायु परिवर्तन 50-60 बार/घंटा होता है; श्रेणी 7 में वायु प्रवाह प्रकार गैर-एकदिशीय होता है और वायु परिवर्तन 15-25 बार/घंटा होता है; श्रेणी 8-9 में वायु प्रवाह प्रकार गैर-एकदिशीय होता है और वायु परिवर्तन 10-15 बार/घंटा होता है।

वर्तमान विनिर्देशों के अनुसार, वर्ग 10,000 इलेक्ट्रॉनिक क्लीन रूम के भीतर शोर का स्तर 65dB(A) से अधिक नहीं होना चाहिए।

1. इलेक्ट्रॉनिक क्लीन रूम में ऊर्ध्वाधर प्रवाह स्वच्छ कमरे का पूर्ण अनुपात 60% से कम नहीं होना चाहिए, और क्षैतिज यूनिडायरेक्शनल प्रवाह स्वच्छ कमरे 40% से कम नहीं होना चाहिए, अन्यथा यह आंशिक यूनिडायरेक्शनल प्रवाह होगा।

2. इलेक्ट्रॉनिक स्वच्छ कमरे और बाहरी क्षेत्र के बीच स्थैतिक दबाव अंतर 10Pa से कम नहीं होना चाहिए, और अलग-अलग वायु स्वच्छता वाले स्वच्छ क्षेत्रों और गैर-स्वच्छ क्षेत्रों के बीच स्थैतिक दबाव अंतर 5Pa से कम नहीं होना चाहिए।

3. क्लास 10000 इलेक्ट्रॉनिक क्लीन रूम में ताजी हवा की मात्रा निम्नलिखित दो मदों के मान के अनुसार होनी चाहिए।

4. इनडोर सकारात्मक दबाव मूल्य को बनाए रखने के लिए आवश्यक इनडोर निकास वायु मात्रा और ताजा हवा की मात्रा के योग की भरपाई करें।

5. सुनिश्चित करें कि प्रति व्यक्ति प्रति घंटे स्वच्छ कमरे में आपूर्ति की जाने वाली ताजी हवा की मात्रा 40 वर्ग मीटर से कम न हो।