क्लीन रूम का कोर विश्लेषण

परिचय

स्वच्छ कक्ष प्रदूषण नियंत्रण का आधार है। स्वच्छ कक्ष के बिना, प्रदूषण के प्रति संवेदनशील भागों का बड़े पैमाने पर उत्पादन संभव नहीं है। FED-STD-2 में, स्वच्छ कक्ष को वायु शोधन, वितरण, अनुकूलन, निर्माण सामग्री और उपकरणों से सुसज्जित एक ऐसे कक्ष के रूप में परिभाषित किया गया है, जिसमें वायुजनित कणों की सांद्रता को नियंत्रित करने और उचित कण स्वच्छता स्तर प्राप्त करने के लिए विशिष्ट नियमित संचालन प्रक्रियाओं का पालन किया जाता है।

क्लीन रूम में बेहतर स्वच्छता प्रभाव प्राप्त करने के लिए, न केवल उचित वायु कंडीशनिंग शुद्धिकरण उपायों पर ध्यान केंद्रित करना आवश्यक है, बल्कि प्रक्रिया, निर्माण और अन्य संबंधित पक्षों द्वारा भी उचित उपाय किए जाने चाहिए: उचित डिजाइन ही नहीं, बल्कि विनिर्देशों के अनुसार सावधानीपूर्वक निर्माण और स्थापना, साथ ही क्लीन रूम का सही उपयोग और वैज्ञानिक रखरखाव एवं प्रबंधन भी आवश्यक है। क्लीन रूम में बेहतर प्रभाव प्राप्त करने के लिए, देश-विदेश के कई साहित्यों में विभिन्न दृष्टिकोणों से इस विषय पर विस्तार से चर्चा की गई है। वास्तव में, विभिन्न संबंधित पक्षों के बीच आदर्श समन्वय प्राप्त करना कठिन है, और डिजाइनरों के लिए निर्माण और स्थापना की गुणवत्ता के साथ-साथ उपयोग और प्रबंधन, विशेष रूप से बाद वाले, को समझना मुश्किल है। क्लीन रूम शुद्धिकरण उपायों के संबंध में, कई डिजाइनर, या यहां तक ​​कि निर्माण पक्ष भी, अक्सर उनकी आवश्यक शर्तों पर पर्याप्त ध्यान नहीं देते हैं, जिसके परिणामस्वरूप असंतोषजनक स्वच्छता प्रभाव प्राप्त होता है। यह लेख क्लीन रूम शुद्धिकरण उपायों में स्वच्छता आवश्यकताओं को प्राप्त करने के लिए चार आवश्यक शर्तों पर संक्षेप में चर्चा करता है।

1. वायु आपूर्ति की स्वच्छता

यह सुनिश्चित करने के लिए कि वायु आपूर्ति की स्वच्छता आवश्यकताओं को पूरा करती है, शुद्धिकरण प्रणाली के अंतिम फिल्टर का प्रदर्शन और स्थापना महत्वपूर्ण है।

फ़िल्टर चयन

शुद्धिकरण प्रणाली के अंतिम फ़िल्टर में आमतौर पर HEPA फ़िल्टर या सब-HEPA फ़िल्टर का उपयोग किया जाता है। हमारे देश के मानकों के अनुसार, HEPA फ़िल्टर की दक्षता को चार श्रेणियों में विभाजित किया गया है: श्रेणी A ≥99.9%, श्रेणी B ≥99.9%, श्रेणी C ≥99.999%, श्रेणी D (0.1μm से बड़े कणों के लिए) ≥99.999% (जिसे अल्ट्रा-HEPA फ़िल्टर भी कहा जाता है); और सब-HEPA फ़िल्टर (0.5μm से बड़े कणों के लिए) 95~99.9% दक्षता वाले होते हैं। दक्षता जितनी अधिक होगी, फ़िल्टर उतना ही महंगा होगा। इसलिए, फ़िल्टर का चयन करते समय, हमें न केवल वायु आपूर्ति की स्वच्छता आवश्यकताओं को पूरा करना चाहिए, बल्कि आर्थिक तर्कसंगतता पर भी विचार करना चाहिए।

स्वच्छता संबंधी आवश्यकताओं के परिप्रेक्ष्य से, निम्न-स्तरीय स्वच्छ कक्षों के लिए निम्न-प्रदर्शन वाले फ़िल्टर और उच्च-स्तरीय स्वच्छ कक्षों के लिए उच्च-प्रदर्शन वाले फ़िल्टर का उपयोग करना सिद्धांत है। सामान्यतः: 1 मिलियन स्तर के लिए उच्च और मध्यम-दक्षता वाले फ़िल्टर का उपयोग किया जा सकता है; 10,000 से नीचे के स्तर के लिए सब-हेपा या क्लास ए हेपा फ़िल्टर का उपयोग किया जा सकता है; 10,000 से 100 के लिए क्लास बी फ़िल्टर का उपयोग किया जा सकता है; और 100 से 1 के स्तर के लिए क्लास सी फ़िल्टर का उपयोग किया जा सकता है। ऐसा प्रतीत होता है कि प्रत्येक स्वच्छता स्तर के लिए दो प्रकार के फ़िल्टर उपलब्ध हैं। उच्च-प्रदर्शन या निम्न-प्रदर्शन वाले फ़िल्टर का चयन विशिष्ट स्थिति पर निर्भर करता है: जब पर्यावरणीय प्रदूषण गंभीर हो, या आंतरिक निकास अनुपात अधिक हो, या स्वच्छ कक्ष विशेष रूप से महत्वपूर्ण हो और उच्च सुरक्षा कारक की आवश्यकता हो, तो इन या इनमें से किसी एक स्थिति में, उच्च श्रेणी के फ़िल्टर का चयन किया जाना चाहिए; अन्यथा, निम्न-प्रदर्शन वाले फ़िल्टर का चयन किया जा सकता है। 0.1μm कणों के नियंत्रण की आवश्यकता वाले क्लीन रूम के लिए, नियंत्रित कण सांद्रता की परवाह किए बिना, क्लास डी फिल्टर का चयन किया जाना चाहिए। उपरोक्त जानकारी केवल फिल्टर के दृष्टिकोण से है। वास्तव में, एक अच्छा फिल्टर चुनने के लिए, आपको क्लीन रूम, फिल्टर और शुद्धिकरण प्रणाली की विशेषताओं पर भी पूरी तरह से विचार करना होगा।

फ़िल्टर स्थापना

वायु आपूर्ति की शुद्धता सुनिश्चित करने के लिए, केवल उच्च गुणवत्ता वाले फ़िल्टरों का होना ही पर्याप्त नहीं है, बल्कि यह भी सुनिश्चित करना आवश्यक है: क. परिवहन और स्थापना के दौरान फ़िल्टर क्षतिग्रस्त न हो; ख. स्थापना सुदृढ़ हो। पहले बिंदु को प्राप्त करने के लिए, निर्माण और स्थापना कर्मियों को अच्छी तरह से प्रशिक्षित होना चाहिए, जिनके पास शुद्धिकरण प्रणालियों की स्थापना का ज्ञान और कुशल स्थापना कौशल दोनों हों। अन्यथा, फ़िल्टर को क्षतिग्रस्त होने से बचाना मुश्किल होगा। इस संबंध में कई महत्वपूर्ण बातें हैं। दूसरे बिंदु पर, स्थापना सुदृढ़ता मुख्य रूप से स्थापना संरचना की गुणवत्ता पर निर्भर करती है। डिज़ाइन मैनुअल आमतौर पर अनुशंसा करता है: एकल फ़िल्टर के लिए, खुली प्रकार की स्थापना का उपयोग किया जाता है, ताकि रिसाव होने पर भी, यह कमरे में न फैले; तैयार हेपा वायु आउटलेट का उपयोग करने से सुदृढ़ता सुनिश्चित करना भी आसान हो जाता है। कई फ़िल्टरों वाली वायु के लिए, हाल के वर्षों में जेल सील और नकारात्मक दबाव सीलिंग का अक्सर उपयोग किया जाता है।

जेल सील यह सुनिश्चित करती है कि तरल टैंक का जोड़ कसकर बंद हो और पूरा फ्रेम एक ही समतल सतह पर हो। ऋणात्मक दाब सीलिंग में फिल्टर और स्थिर दाब बॉक्स तथा फ्रेम के बीच के जोड़ की बाहरी परिधि को ऋणात्मक दाब की स्थिति में रखा जाता है। खुले प्रकार की स्थापना की तरह, रिसाव होने पर भी यह कमरे में नहीं फैलेगा। वास्तव में, जब तक स्थापना फ्रेम समतल है और फिल्टर का सिरा स्थापना फ्रेम के साथ समान रूप से संपर्क में है, तब तक किसी भी प्रकार की स्थापना में फिल्टर को स्थापना की जकड़न संबंधी आवश्यकताओं को पूरा करना आसान होना चाहिए।

2. वायु प्रवाह संगठन

क्लीन रूम की वायु प्रवाह व्यवस्था सामान्य एयर-कंडीशन्ड रूम से भिन्न होती है। इसमें सबसे स्वच्छ वायु को पहले कार्य क्षेत्र में पहुँचाना आवश्यक होता है। इसका उद्देश्य संसाधित वस्तुओं पर प्रदूषण को सीमित और कम करना है। इस उद्देश्य के लिए, वायु प्रवाह व्यवस्था को डिज़ाइन करते समय निम्नलिखित सिद्धांतों को ध्यान में रखना चाहिए: कार्य क्षेत्र के बाहर से प्रदूषण को अंदर आने से रोकने के लिए भंवर धाराओं को न्यूनतम करना; धूल के कणों को कार्य वस्तु को दूषित करने से बचाने के लिए द्वितीयक धूल के उड़ने को रोकना; कार्य क्षेत्र में वायु प्रवाह यथासंभव एकसमान होना चाहिए और इसकी गति प्रक्रिया और स्वच्छता आवश्यकताओं को पूरा करनी चाहिए। जब ​​वायु प्रवाह वापसी वायु निकास की ओर प्रवाहित होता है, तो हवा में मौजूद धूल को प्रभावी ढंग से बाहर निकाल देना चाहिए। विभिन्न स्वच्छता आवश्यकताओं के अनुसार विभिन्न वायु आपूर्ति और वापसी विधियों का चयन करें।

विभिन्न वायु प्रवाह संगठनों की अपनी-अपनी विशेषताएं और कार्यक्षेत्र होते हैं:

(1). ऊर्ध्वाधर एकदिशीय प्रवाह

समान रूप से नीचे की ओर वायु प्रवाह प्राप्त करने, प्रक्रिया उपकरणों की व्यवस्था को सुगम बनाने, मजबूत स्व-शुद्धिकरण क्षमता और व्यक्तिगत शुद्धिकरण सुविधाओं जैसी सामान्य सुविधाओं को सरल बनाने के सामान्य लाभों के अलावा, वायु आपूर्ति की चारों विधियों के अपने-अपने फायदे और नुकसान भी हैं: पूर्ण-ढके हुए हेपा फिल्टर कम प्रतिरोध और लंबे फिल्टर प्रतिस्थापन चक्र के लाभ प्रदान करते हैं, लेकिन छत की संरचना जटिल और लागत अधिक होती है; पार्श्व-ढके हुए हेपा फिल्टर शीर्ष वितरण और पूर्ण-छिद्रित प्लेट शीर्ष वितरण के फायदे और नुकसान पूर्ण-ढके हुए हेपा फिल्टर शीर्ष वितरण के विपरीत हैं। इनमें से, पूर्ण-छिद्रित प्लेट शीर्ष वितरण में प्रणाली के लगातार न चलने पर छिद्र प्लेट की भीतरी सतह पर धूल जमा होने की संभावना अधिक होती है, और खराब रखरखाव स्वच्छता पर कुछ प्रभाव डालता है; सघन डिफ्यूज़र शीर्ष वितरण के लिए एक मिश्रण परत की आवश्यकता होती है, इसलिए यह केवल 4 मीटर से अधिक ऊंचे स्वच्छ कमरों के लिए उपयुक्त है, और इसकी विशेषताएं पूर्ण-छिद्रित प्लेट शीर्ष वितरण के समान हैं; दोनों तरफ ग्रिल वाली प्लेट और विपरीत दीवारों के निचले हिस्से में समान रूप से व्यवस्थित वायु वापसी आउटलेट वाली विधि केवल उन स्वच्छ कमरों के लिए उपयुक्त है जिनके बीच दोनों तरफ की कुल दूरी 6 मीटर से कम है; एक तरफा दीवार के निचले हिस्से में व्यवस्थित वायु वापसी आउटलेट केवल उन स्वच्छ कमरों के लिए उपयुक्त हैं जिनकी दीवारों के बीच की दूरी कम है (जैसे ≤<2~3 मीटर)।

(2). क्षैतिज एकदिशीय प्रवाह

केवल पहले कार्यक्षेत्र में ही स्वच्छता का स्तर 100 प्राप्त किया जा सकता है। जब हवा दूसरी ओर बहती है, तो धूल की सांद्रता धीरे-धीरे बढ़ जाती है। इसलिए, यह केवल उन स्वच्छ कमरों के लिए उपयुक्त है जहाँ एक ही कमरे में एक ही प्रक्रिया के लिए स्वच्छता की अलग-अलग आवश्यकताएँ हों। वायु आपूर्ति दीवार पर हेपा फिल्टर लगाने से हेपा फिल्टर की खपत कम हो सकती है और प्रारंभिक निवेश की बचत हो सकती है, लेकिन कुछ क्षेत्रों में धूल के भंवर बन सकते हैं।

(3). अशांत वायु प्रवाह

छिद्र प्लेटों की शीर्ष वितरण प्रणाली और सघन डिफ्यूज़र की शीर्ष वितरण प्रणाली की विशेषताएं ऊपर बताई गई विशेषताओं के समान हैं: पार्श्व वितरण प्रणाली के लाभ हैं पाइपलाइनों को व्यवस्थित करना आसान, किसी तकनीकी अंतर्परत की आवश्यकता नहीं, कम लागत और पुरानी फैक्ट्रियों के नवीनीकरण के लिए उपयुक्त। इसके नुकसान यह हैं कि कार्य क्षेत्र में हवा की गति अधिक होती है, और हवा की दिशा वाली ओर धूल की सांद्रता हवा की दिशा वाली ओर की तुलना में अधिक होती है; हेपा फिल्टर आउटलेट की शीर्ष वितरण प्रणाली के लाभ हैं कि यह सरल प्रणाली है, हेपा फिल्टर के पीछे कोई पाइपलाइन नहीं होती है, और स्वच्छ वायु का प्रवाह सीधे कार्य क्षेत्र में होता है, लेकिन स्वच्छ वायु का प्रसार धीमा होता है और कार्य क्षेत्र में वायु का प्रवाह अधिक एकसमान होता है; हालांकि, जब कई वायु आउटलेट समान रूप से व्यवस्थित होते हैं या डिफ्यूज़र के साथ हेपा फिल्टर वायु आउटलेट का उपयोग किया जाता है, तो कार्य क्षेत्र में वायु का प्रवाह और भी अधिक एकसमान बनाया जा सकता है; लेकिन जब प्रणाली लगातार नहीं चल रही होती है, तो डिफ्यूज़र में धूल जमा होने की संभावना रहती है।

उपरोक्त चर्चा एक आदर्श स्थिति पर आधारित है और संबंधित राष्ट्रीय विशिष्टताओं, मानकों या डिज़ाइन नियमावली द्वारा अनुशंसित है। वास्तविक परियोजनाओं में, वस्तुनिष्ठ परिस्थितियों या डिज़ाइनर के व्यक्तिपरक कारणों से वायु प्रवाह संगठन ठीक से डिज़ाइन नहीं किया जाता है। सामान्य उदाहरणों में शामिल हैं: ऊर्ध्वाधर एकदिशीय प्रवाह में आसन्न दो दीवारों के निचले हिस्से से वायु वापसी होती है, स्थानीय श्रेणी 100 में ऊपरी आपूर्ति और ऊपरी वापसी होती है (अर्थात् स्थानीय वायु निकास के नीचे कोई पर्दा नहीं लगाया जाता है), और अशांत स्वच्छ कक्षों में हेपा फिल्टर वायु निकास के लिए शीर्ष आपूर्ति और ऊपरी वापसी या एकतरफा निचली वापसी (दीवारों के बीच अधिक दूरी) होती है, आदि। इन वायु प्रवाह संगठन विधियों का मापन किया गया है और इनमें से अधिकांश की स्वच्छता डिज़ाइन आवश्यकताओं को पूरा नहीं करती है। खाली या स्थिर स्वीकृति के लिए वर्तमान विशिष्टताओं के कारण, इनमें से कुछ स्वच्छ कक्ष खाली या स्थिर स्थितियों में डिज़ाइन की गई स्वच्छता स्तर तक मुश्किल से पहुँच पाते हैं, लेकिन प्रदूषण रोधी क्षमता बहुत कम होती है, और एक बार स्वच्छ कक्ष कार्यशील अवस्था में आ जाए तो यह आवश्यकताओं को पूरा नहीं करता है।

सही वायु प्रवाह व्यवस्था के लिए, स्थानीय क्षेत्र में कार्यक्षेत्र की ऊंचाई तक लटकते पर्दों का उपयोग किया जाना चाहिए, और उच्च दक्षता वाले उपकरणों में ऊपरी डिलीवरी और ऊपरी रिटर्न प्रणाली का उपयोग नहीं किया जाना चाहिए। इसके अलावा, वर्तमान में अधिकांश कारखाने डिफ्यूज़र वाले उच्च दक्षता वाले वायु आउटलेट का उत्पादन करते हैं, लेकिन उनके डिफ्यूज़र केवल सजावटी छिद्र प्लेट होते हैं और वायु प्रवाह को फैलाने का काम नहीं करते हैं। डिज़ाइनरों और उपयोगकर्ताओं को इस पर विशेष ध्यान देना चाहिए।

3. वायु आपूर्ति की मात्रा या वायु वेग

पर्याप्त वेंटिलेशन से कमरे के भीतर की प्रदूषित हवा को पतला करके हटाया जा सकता है। स्वच्छता की विभिन्न आवश्यकताओं के अनुसार, जब क्लीन रूम की कुल ऊंचाई अधिक हो, तो वेंटिलेशन की आवृत्ति को उचित रूप से बढ़ाया जाना चाहिए। इनमें से, 10 लाख-स्तरीय क्लीन रूम के वेंटिलेशन वॉल्यूम को उच्च-दक्षता शुद्धिकरण प्रणाली के अनुसार माना जाता है, और बाकी को भी उच्च-दक्षता शुद्धिकरण प्रणाली के अनुसार माना जाता है; जब 100,000 श्रेणी के क्लीन रूम के हेपा फिल्टर मशीन रूम में केंद्रित होते हैं या सिस्टम के अंत में सब-हेपा फिल्टर का उपयोग किया जाता है, तो वेंटिलेशन की आवृत्ति को 10-20% तक उचित रूप से बढ़ाया जा सकता है।

ऊपर दिए गए वेंटिलेशन वॉल्यूम के अनुशंसित मानों के लिए, लेखक का मानना ​​है कि: एकदिशीय प्रवाह वाले क्लीन रूम के कमरे के हिस्से से हवा की गति कम होती है, जबकि अशांत क्लीन रूम के लिए अनुशंसित मान में पर्याप्त सुरक्षा कारक होता है। ऊर्ध्वाधर एकदिशीय प्रवाह ≥ 0.25 मीटर/सेकंड, क्षैतिज एकदिशीय प्रवाह ≥ 0.35 मीटर/सेकंड। हालांकि खाली या स्थिर स्थिति में परीक्षण करने पर स्वच्छता की आवश्यकताएं पूरी हो सकती हैं, लेकिन प्रदूषण रोधी क्षमता कमज़ोर होती है। एक बार कमरा कार्यशील अवस्था में आ जाए, तो स्वच्छता आवश्यकताओं को पूरा नहीं कर पाती। इस प्रकार का उदाहरण कोई अकेला मामला नहीं है। साथ ही, मेरे देश में उपलब्ध वेंटिलेटर श्रृंखला में शुद्धिकरण प्रणालियों के लिए उपयुक्त पंखे उपलब्ध नहीं हैं। आमतौर पर, डिज़ाइनर अक्सर सिस्टम के वायु प्रतिरोध की सटीक गणना नहीं करते हैं, या यह ध्यान नहीं देते हैं कि चयनित पंखा विशेषता वक्र पर अधिक अनुकूल कार्यशील बिंदु पर है या नहीं, जिसके परिणामस्वरूप सिस्टम के चालू होने के कुछ ही समय बाद वायु की मात्रा या हवा की गति डिज़ाइन मान तक नहीं पहुंच पाती है। अमेरिकी संघीय मानक (FS209A~B) में यह निर्धारित किया गया है कि क्लीन रूम के क्रॉस सेक्शन से होकर गुजरने वाले एकतरफा क्लीन रूम में वायु प्रवाह की गति आमतौर पर 90 फीट/मिनट (0.45 मीटर/सेकंड) पर बनाए रखी जाती है, और पूरे कमरे में किसी भी प्रकार की रुकावट न होने की स्थिति में गति की असमानता ±20% के भीतर होती है। वायु प्रवाह की गति में किसी भी महत्वपूर्ण कमी से स्व-सफाई का समय और कार्यस्थलों के बीच प्रदूषण की संभावना बढ़ जाएगी (अक्टूबर 1987 में FS209C के लागू होने के बाद, धूल की सांद्रता को छोड़कर अन्य सभी मापदंडों के लिए कोई नियम नहीं बनाए गए)।

इसी कारण लेखक का मानना ​​है कि एकदिशीय प्रवाह वेग के वर्तमान घरेलू डिज़ाइन मान को उचित रूप से बढ़ाना उपयुक्त है। हमारी इकाई ने वास्तविक परियोजनाओं में ऐसा किया है और इसके परिणाम अपेक्षाकृत अच्छे रहे हैं। अशांत स्वच्छ कक्षों के लिए अपेक्षाकृत पर्याप्त सुरक्षा कारक के साथ एक अनुशंसित मान निर्धारित है, लेकिन कई डिज़ाइनर अभी भी आश्वस्त नहीं हैं। विशिष्ट डिज़ाइन बनाते समय, वे श्रेणी 100,000 के स्वच्छ कक्षों की वेंटिलेशन क्षमता को 20-25 गुना/घंटा, श्रेणी 10,000 के स्वच्छ कक्षों की 30-40 गुना/घंटा और श्रेणी 1000 के स्वच्छ कक्षों की 60-70 गुना/घंटा तक बढ़ा देते हैं। इससे न केवल उपकरण की क्षमता और प्रारंभिक निवेश बढ़ता है, बल्कि भविष्य में रखरखाव और प्रबंधन लागत भी बढ़ जाती है। वास्तव में, ऐसा करने की कोई आवश्यकता नहीं है। अपने देश के वायु शोधन तकनीकी उपायों को संकलित करते समय, चीन में श्रेणी 100 से अधिक के स्वच्छ कक्षों का अध्ययन और मापन किया गया। कई स्वच्छ कक्षों का गतिशील परिस्थितियों में परीक्षण किया गया। परिणामों से पता चला कि श्रेणी 100,000 के स्वच्छ कमरों के लिए वेंटिलेशन की मात्रा ≥10 बार/घंटा, श्रेणी 10,000 के स्वच्छ कमरों के लिए ≥20 बार/घंटा और श्रेणी 1000 के स्वच्छ कमरों के लिए ≥50 बार/घंटा आवश्यकताओं को पूरा कर सकती है। अमेरिकी संघीय मानक (FS2O9A~B) में निर्धारित है: गैर-एकदिशीय स्वच्छ कमरे (श्रेणी 100,000, श्रेणी 10,000), कमरे की ऊंचाई 8~12 फीट (2.44~3.66 मीटर) होने पर, आमतौर पर पूरे कमरे को कम से कम हर 3 मिनट में एक बार (यानी 20 बार/घंटा) हवादार माना जाता है। इसलिए, डिजाइन विनिर्देश में एक बड़े अधिशेष गुणांक को ध्यान में रखा गया है, और डिजाइनर अनुशंसित वेंटिलेशन मात्रा के मान के अनुसार सुरक्षित रूप से चयन कर सकता है।

4. स्थिर दाब अंतर

स्वच्छ कक्ष में एक निश्चित धनात्मक दाब बनाए रखना, स्वच्छ कक्ष को कम से कम प्रदूषित रखने और निर्धारित स्वच्छता स्तर को बनाए रखने के लिए आवश्यक शर्तों में से एक है। यहां तक ​​कि ऋणात्मक दाब वाले स्वच्छ कक्षों के लिए भी, एक निश्चित धनात्मक दाब बनाए रखने के लिए, आस-पास के कमरों या सुइट्स का स्वच्छता स्तर उससे कम नहीं होना चाहिए, ताकि ऋणात्मक दाब वाले स्वच्छ कक्ष की स्वच्छता बनी रहे।

क्लीन रूम का धनात्मक दाब मान वह मान है जब सभी दरवाजे और खिड़कियां बंद होने पर आंतरिक स्थैतिक दाब बाहरी स्थैतिक दाब से अधिक होता है। यह इस विधि द्वारा प्राप्त किया जाता है कि शुद्धिकरण प्रणाली की वायु आपूर्ति मात्रा, वापसी वायु मात्रा और निकास वायु मात्रा से अधिक होती है। क्लीन रूम के धनात्मक दाब मान को सुनिश्चित करने के लिए, आपूर्ति, वापसी और निकास पंखों को आपस में जोड़ा जाता है। सिस्टम चालू करते समय, पहले आपूर्ति पंखा चालू होता है, फिर वापसी और निकास पंखे चालू होते हैं; सिस्टम बंद करते समय, पहले निकास पंखा बंद होता है, फिर वापसी और आपूर्ति पंखे बंद होते हैं ताकि सिस्टम के चालू और बंद होने के दौरान क्लीन रूम दूषित न हो।

क्लीन रूम के धनात्मक दाब को बनाए रखने के लिए आवश्यक वायु की मात्रा मुख्य रूप से रखरखाव संरचना की वायुरोधी क्षमता पर निर्भर करती है। मेरे देश में क्लीन रूम के निर्माण के शुरुआती दिनों में, संलग्न संरचना की वायुरोधी क्षमता कम होने के कारण, ≥5Pa का धनात्मक दाब बनाए रखने के लिए प्रति घंटे 2 से 6 बार वायु की आपूर्ति करनी पड़ती थी; वर्तमान में, रखरखाव संरचना की वायुरोधी क्षमता में काफी सुधार हुआ है, और समान धनात्मक दाब बनाए रखने के लिए केवल प्रति घंटे 1 से 2 बार वायु की आपूर्ति की आवश्यकता होती है; और ≥10Pa का धनात्मक दाब बनाए रखने के लिए केवल प्रति घंटे 2 से 3 बार वायु की आपूर्ति की आवश्यकता होती है।

मेरे देश के डिज़ाइन विनिर्देश [6] यह निर्धारित करते हैं कि विभिन्न ग्रेड के स्वच्छ कमरों के बीच और स्वच्छ क्षेत्रों और गैर-स्वच्छ क्षेत्रों के बीच स्थिर दबाव अंतर 0.5 मिमी H2O (~5Pa) से कम नहीं होना चाहिए, और स्वच्छ क्षेत्र और बाहरी वातावरण के बीच स्थिर दबाव अंतर 1.0 मिमी H2O (~10Pa) से कम नहीं होना चाहिए। लेखक का मानना ​​है कि यह मान तीन कारणों से बहुत कम प्रतीत होता है:

(1) धनात्मक दाब से तात्पर्य स्वच्छ कक्ष की उस क्षमता से है जिसके द्वारा वह दरवाजों और खिड़कियों के बीच के अंतराल से आंतरिक वायु प्रदूषण को रोकता है, या दरवाजों और खिड़कियों को थोड़े समय के लिए खोलने पर कमरे में प्रवेश करने वाले प्रदूषकों को न्यूनतम करता है। धनात्मक दाब का आकार प्रदूषण दमन क्षमता की प्रबलता को दर्शाता है। बेशक, धनात्मक दाब जितना अधिक होगा, उतना ही बेहतर होगा (जिस पर आगे चर्चा की जाएगी)।

(2) धनात्मक दाब के लिए आवश्यक वायु की मात्रा सीमित है। 5Pa धनात्मक दाब और 10Pa धनात्मक दाब के लिए आवश्यक वायु की मात्रा में अंतर लगभग 1 गुना/घंटा ही है। ऐसा क्यों न किया जाए? स्पष्टतः, धनात्मक दाब की निचली सीमा को 10Pa मानना ​​बेहतर है।

(3) अमेरिकी संघीय मानक (FS209A~B) यह निर्धारित करता है कि जब सभी प्रवेश और निकास द्वार बंद हों, तो स्वच्छ कक्ष और किसी भी निकटवर्ती कम स्वच्छता वाले क्षेत्र के बीच न्यूनतम धनात्मक दाब अंतर 0.05 इंच जल स्तंभ (12.5Pa) होना चाहिए। इस मान को कई देशों ने अपनाया है। लेकिन स्वच्छ कक्ष का धनात्मक दाब मान जितना अधिक हो उतना बेहतर नहीं होता। हमारी इकाई द्वारा 30 वर्षों से अधिक समय से किए गए वास्तविक इंजीनियरिंग परीक्षणों के अनुसार, जब धनात्मक दाब मान ≥ 30Pa होता है, तो दरवाजा खोलना मुश्किल हो जाता है। यदि आप लापरवाही से दरवाजा बंद करते हैं, तो ज़ोरदार आवाज़ आती है! इससे लोग डर जाते हैं। जब धनात्मक दाब मान ≥ 50~70Pa होता है, तो दरवाजों और खिड़कियों के बीच के अंतराल से सीटी जैसी आवाज़ आती है, और कमज़ोर या कुछ अनुपयुक्त लक्षणों वाले लोगों को असहजता महसूस होती है। हालांकि, देश-विदेश के कई देशों के संबंधित विनिर्देशों या मानकों में धनात्मक दाब की ऊपरी सीमा निर्दिष्ट नहीं है। परिणामस्वरूप, कई इकाइयाँ ऊपरी सीमा की परवाह किए बिना, केवल निचली सीमा की आवश्यकताओं को पूरा करने का प्रयास करती हैं। लेखक द्वारा अनुभव किए गए वास्तविक क्लीन रूम में धनात्मक दाब का मान 100Pa या उससे अधिक था, जिसके गंभीर परिणाम हुए। वास्तव में, धनात्मक दाब को समायोजित करना कठिन नहीं है। इसे एक निश्चित सीमा के भीतर नियंत्रित करना पूरी तरह संभव है। एक दस्तावेज़ में बताया गया है कि पूर्वी यूरोप के एक देश ने धनात्मक दाब का मान 1-3mm H2O (लगभग 10~30Pa) निर्धारित किया है। लेखक का मानना ​​है कि यह सीमा अधिक उपयुक्त है।