स्वच्छ कमरे इंजीनियरिंग प्रौद्योगिकी का विश्लेषण

1। धूल मुक्त साफ कमरे में धूल के कणों को हटाना

स्वच्छ कमरे का मुख्य कार्य वातावरण की स्वच्छता, तापमान और आर्द्रता को नियंत्रित करना है जो उत्पादों (जैसे सिलिकॉन चिप्स, आदि) के संपर्क में हैं, ताकि उत्पादों को एक अच्छे वातावरण स्थान में उत्पादित और निर्मित किया जा सके। हम इस स्थान को साफ कमरा कहते हैं। अंतर्राष्ट्रीय अभ्यास के अनुसार, स्वच्छता स्तर मुख्य रूप से वर्गीकरण मानक से अधिक व्यास के साथ प्रति क्यूबिक मीटर हवा के कणों की संख्या से निर्धारित होता है। दूसरे शब्दों में, तथाकथित धूल-मुक्त 100% धूल-मुक्त नहीं है, लेकिन एक बहुत छोटी इकाई में नियंत्रित है। बेशक, इस मानक में धूल मानक को पूरा करने वाले कण पहले से ही सामान्य धूल की तुलना में बहुत कम हैं, लेकिन ऑप्टिकल संरचनाओं के लिए, यहां तक ​​कि थोड़ी धूल का बहुत बड़ा नकारात्मक प्रभाव होगा, इसलिए धूल-मुक्त एक अपरिहार्य आवश्यकता है ऑप्टिकल संरचना उत्पादों के उत्पादन में।

कण आकार के साथ धूल के कणों की संख्या को नियंत्रित करना 0.5 माइक्रोन प्रति क्यूबिक मीटर से अधिक या उसके बराबर 3520/क्यूबिक मीटर से कम से कम अंतरराष्ट्रीय धूल-मुक्त मानक के कक्षा ए तक पहुंच जाएगा। चिप-स्तरीय उत्पादन और प्रसंस्करण में उपयोग किए जाने वाले धूल-मुक्त मानक में क्लास ए की तुलना में धूल के लिए उच्च आवश्यकताएं होती हैं, और इस तरह के उच्च स्तर का उपयोग मुख्य रूप से कुछ उच्च-स्तरीय चिप्स के उत्पादन में किया जाता है। धूल के कणों की संख्या को कड़ाई से 35,200 प्रति क्यूबिक मीटर पर नियंत्रित किया जाता है, जिसे आमतौर पर क्लीन रूम उद्योग में क्लास बी के रूप में जाना जाता है।

2. तीन प्रकार के साफ कमरे में राज्यों

खाली क्लीन रूम: एक साफ कमरे की सुविधा जिसे बनाया गया है और इसका उपयोग किया जा सकता है। इसमें सभी प्रासंगिक सेवाएं और कार्य हैं। हालांकि, सुविधा में ऑपरेटरों द्वारा संचालित कोई उपकरण नहीं है।

स्टेटिक क्लीन रूम: पूर्ण फ़ंक्शंस, उचित सेटिंग्स और इंस्टॉलेशन के साथ एक क्लीन रूम की सुविधा, जिसका उपयोग सेटिंग्स के अनुसार किया जा सकता है या उपयोग में है, लेकिन सुविधा में कोई ऑपरेटर नहीं हैं।

डायनेमिक क्लीन रूम: सामान्य उपयोग में एक साफ कमरा, पूर्ण सेवा कार्यों, उपकरणों और कर्मियों के साथ; यदि आवश्यक हो, तो सामान्य काम किया जा सकता है।

3। नियंत्रण आइटम

(1)। हवा में तैरते धूल के कणों को हटा सकते हैं।

(२)। धूल के कणों की पीढ़ी को रोक सकते हैं।

(३)। तापमान और आर्द्रता का नियंत्रण।

(४)। दबाव विनियमन।

(५)। हानिकारक गैसों का उन्मूलन।

(६)। संरचनाओं और डिब्बों की हवा की जकड़न।

(7)। स्थैतिक बिजली की रोकथाम।

(()। विद्युत चुम्बकीय हस्तक्षेप की रोकथाम।

(९)। सुरक्षा कारकों पर विचार।

(१०)। ऊर्जा की बचत पर विचार।

4। वर्गीकरण

अशांत प्रवाह प्रकार

एयर क्लीन रूम में एयर डक्ट और एयर फिल्टर (HEPA) के माध्यम से एयर कंडीशनिंग बॉक्स से क्लीन रूम में प्रवेश करता है, और इसे क्लीन रूम के दोनों ओर विभाजन की दीवार पैनल या ऊंचे फर्श से लौटा दिया जाता है। एयरफ्लो एक रैखिक तरीके से नहीं चलता है, लेकिन एक अनियमित अशांत या एडी राज्य प्रस्तुत करता है। यह प्रकार कक्षा 1,000-100,000 स्वच्छ कमरे के लिए उपयुक्त है।

परिभाषा: एक साफ कमरा जहां एयरफ्लो एक असमान गति से बहता है और समानांतर नहीं है, बैकफ्लो या एडी करंट के साथ।

सिद्धांत: अशांत स्वच्छ कमरे हवा की आपूर्ति एयरफ्लो पर निर्भर करते हैं ताकि इनडोर हवा को लगातार पतला किया जा सके और धीरे -धीरे स्वच्छता प्राप्त करने के लिए प्रदूषित हवा को पतला किया जा सके (अशांत स्वच्छ कमरे आमतौर पर 1,000 से 300,000 से ऊपर स्वच्छता के स्तर पर डिज़ाइन किए गए हैं)।

विशेषताएं: अशांत स्वच्छ कमरे स्वच्छता और स्वच्छता के स्तर को प्राप्त करने के लिए कई वेंटिलेशन पर भरोसा करते हैं। वेंटिलेशन परिवर्तनों की संख्या परिभाषा में शुद्धि स्तर निर्धारित करती है (अधिक वेंटिलेशन परिवर्तन, स्वच्छता स्तर जितना अधिक)

(1) स्व-शुद्धिकरण समय: उस समय को संदर्भित करता है जब स्वच्छ कमरा डिज़ाइन किए गए वेंटिलेशन नंबर के अनुसार स्वच्छ कमरे में हवा की आपूर्ति करना शुरू कर देता है और कमरे में धूल की एकाग्रता डिज़ाइन की गई स्वच्छता स्तर की कक्षा 1,000 तक पहुंचने की उम्मीद है। 20 मिनट से अधिक (गणना के लिए 15 मिनट का उपयोग किया जा सकता है) कक्षा 10,000 की उम्मीद है कि 30 मिनट से अधिक नहीं (25 मिनट का उपयोग गणना के लिए किया जा सकता है) कक्षा 100,000 की उम्मीद है कि 40 मिनट से अधिक नहीं (30 मिनट के लिए उपयोग किया जा सकता है गणना)

(2) वेंटिलेशन आवृत्ति (उपरोक्त स्व-सफाई समय आवश्यकताओं के अनुसार डिज़ाइन की गई) कक्षा 1,000: 43.5-55.3 बार/घंटा (मानक: 50 बार/घंटा) कक्षा 10,000: 23.8-28.6 बार/घंटा (मानक: 25 बार/घंटा/घंटा (25 बार/घंटा) ) कक्षा 100,000: 14.4-19.2 बार/घंटा (मानक: 15 बार/घंटा)

लाभ: सरल संरचना, कम प्रणाली निर्माण लागत, साफ कमरे का विस्तार करने के लिए आसान, कुछ विशेष उद्देश्य स्थानों में, स्वच्छ कमरे ग्रेड को बेहतर बनाने के लिए धूल-मुक्त स्वच्छ बेंच का उपयोग किया जा सकता है।

नुकसान: इनडोर स्थान में अशांति के कारण होने वाले धूल के कणों को डिस्चार्ज किया जाना मुश्किल होता है, जो आसानी से प्रक्रिया उत्पादों को दूषित कर सकता है। इसके अलावा, यदि सिस्टम को रोक दिया जाता है और फिर सक्रिय किया जाता है, तो आवश्यक स्वच्छता प्राप्त करने में अक्सर एक लंबा समय लगता है।

लामिना का प्रवाह

लामिनार प्रवाह हवा एक समान सीधी रेखा में चलती है। एयर 100% कवरेज दर के साथ एक फिल्टर के माध्यम से कमरे में प्रवेश करता है और दोनों तरफ ऊंचा मंजिल या विभाजन बोर्डों के माध्यम से लौटा दिया जाता है। यह प्रकार उच्च क्लीनरूम ग्रेड के साथ स्वच्छ कमरे के वातावरण में उपयोग के लिए उपयुक्त है, आम तौर पर कक्षा 1 ~ 100। दो प्रकार हैं:

(1) क्षैतिज लामिना का प्रवाह: क्षैतिज हवा को एक ही दिशा में फिल्टर से बाहर उड़ाया जाता है और विपरीत दीवार पर वापसी वायु प्रणाली द्वारा लौटा दिया जाता है। हवा की दिशा के साथ धूल को बाहर निकाल दिया जाता है। आम तौर पर, प्रदूषण डाउनस्ट्रीम साइड पर अधिक गंभीर होता है।

लाभ: सरल संरचना, ऑपरेशन के बाद थोड़े समय में स्थिर हो सकती है।

नुकसान: निर्माण लागत अशांत प्रवाह से अधिक है, और इनडोर स्थान का विस्तार करना आसान नहीं है।

(२) वर्टिकल लामिनार फ्लो: कमरे की छत पूरी तरह से उल्पा फिल्टर के साथ कवर की गई है, और हवा को ऊपर से नीचे तक उड़ाया जाता है, जो एक उच्च स्वच्छता प्राप्त कर सकता है। प्रक्रिया के दौरान या कर्मचारियों द्वारा उत्पन्न धूल को अन्य कार्य क्षेत्रों को प्रभावित किए बिना जल्दी से बाहर निकाला जा सकता है।

लाभ: प्रबंधन करना आसान है, ऑपरेशन शुरू होने के बाद कुछ समय के भीतर स्थिर स्थिति प्राप्त की जा सकती है, और ऑपरेटिंग राज्य या ऑपरेटरों से आसानी से प्रभावित नहीं होती है।

नुकसान: उच्च निर्माण लागत, लचीले ढंग से अंतरिक्ष का उपयोग करना मुश्किल है, छत के हैंगर बहुत सारे स्थान पर कब्जा कर लेते हैं, और फ़िल्टर की मरम्मत और बदलने के लिए परेशानी करते हैं।

संमिश्र प्रकार

समग्र प्रकार अशांत प्रवाह प्रकार और लामिना के प्रवाह प्रकार को एक साथ जोड़ने या उपयोग करने के लिए है, जो स्थानीय अल्ट्रा-क्लीन हवा प्रदान कर सकता है।

(1) स्वच्छ सुरंग: HEPA या ULPA फ़िल्टर का उपयोग करें, जो कि 100% प्रक्रिया क्षेत्र या कार्य क्षेत्र को कवर करने के लिए स्वच्छता स्तर बढ़ाने के लिए कक्षा 10 से अधिक है, जो स्थापना और संचालन लागत को बचा सकता है।

इस प्रकार को मशीन के रखरखाव के दौरान काम और गुणवत्ता को प्रभावित करने से बचने के लिए ऑपरेटर के कार्य क्षेत्र को उत्पाद और मशीन रखरखाव से अलग करने की आवश्यकता होती है।

स्वच्छ सुरंगों के दो अन्य फायदे हैं: ए। लचीले ढंग से विस्तार करना आसान है; B. उपकरण रखरखाव आसानी से रखरखाव क्षेत्र में किया जा सकता है।

(2) स्वच्छ ट्यूब: उस स्वचालित उत्पादन लाइन को घेरें और शुद्ध करें जिसके माध्यम से उत्पाद प्रवाह गुजरता है, और स्वच्छता स्तर को कक्षा 100 से ऊपर बढ़ाता है। क्योंकि उत्पाद, ऑपरेटर और धूल-कनरेटिंग वातावरण एक दूसरे से अलग-थलग होते हैं, एक छोटी राशि की एक छोटी राशि वायु आपूर्ति अच्छी स्वच्छता प्राप्त कर सकती है, जो ऊर्जा को बचा सकती है और स्वचालित उत्पादन लाइनों के लिए सबसे उपयुक्त है जिसमें मैनुअल श्रम की आवश्यकता नहीं होती है। यह दवा, खाद्य और अर्धचालक उद्योगों पर लागू होता है।

(3) स्वच्छ स्थान: 10,000 ~ 100,000 के एक साफ कमरे के स्तर के साथ अशांत स्वच्छ कमरे में उत्पाद प्रक्रिया क्षेत्र का स्वच्छता स्तर उत्पादन उद्देश्यों के लिए 10 ~ 1000 या उससे अधिक तक बढ़ जाता है; स्वच्छ कार्यक्षेत्र, स्वच्छ शेड, पूर्वनिर्मित स्वच्छ कमरे, और स्वच्छ वार्डरोब इस श्रेणी के हैं।

स्वच्छ बेंच: कक्षा 1 ~ 100।

स्वच्छ बूथ: अशांत स्वच्छ कमरे की जगह में एंटी-स्टैटिक पारदर्शी प्लास्टिक के कपड़े से घिरा एक छोटा सा स्थान, स्वतंत्र HEPA या ULPA और एयर कंडीशनिंग इकाइयों का उपयोग करके उच्च-स्तरीय स्वच्छ स्थान बन गया, जिसमें 10 ~ 1000 का स्तर, की ऊंचाई के साथ 2.5 मीटर, और लगभग 10m2 या उससे कम का एक कवरेज क्षेत्र। इसमें चार स्तंभ हैं और लचीले उपयोग के लिए जंगम पहियों से लैस है।

5। एयरफ्लो प्रवाह

एयरफ्लो का महत्व

एक साफ कमरे की स्वच्छता अक्सर एयरफ्लो से प्रभावित होती है। दूसरे शब्दों में, लोगों द्वारा उत्पन्न धूल के आंदोलन और प्रसार, मशीन डिब्बों, भवन संरचनाओं, आदि को एयरफ्लो द्वारा नियंत्रित किया जाता है।

क्लीन रूम हवा को फ़िल्टर करने के लिए HEPA और ULPA का उपयोग करता है, और इसकी धूल संग्रह दर 99.97 ~ 99.99995%के रूप में अधिक है, इसलिए इस फ़िल्टर द्वारा फ़िल्टर किए गए एयर को बहुत साफ कहा जा सकता है। हालांकि, लोगों के अलावा, स्वच्छ कमरे में मशीनों जैसे धूल स्रोत भी हैं। एक बार जब ये उत्पन्न धूल फैल जाती हैं, तो एक साफ स्थान बनाए रखना असंभव है, इसलिए एयरफ्लो का उपयोग जल्दी से उत्पन्न धूल को बाहर निकालने के लिए किया जाना चाहिए।

प्रभावकारी कारक

ऐसे कई कारक हैं जो एक साफ कमरे के एयरफ्लो को प्रभावित करते हैं, जैसे कि प्रक्रिया उपकरण, कार्मिक, स्वच्छ कमरे की विधानसभा सामग्री, प्रकाश जुड़नार आदि। एक ही समय में, उत्पादन उपकरणों के ऊपर एयरफ्लो के डायवर्सन बिंदु को भी लिया जाना चाहिए। सोच-विचार।

एक सामान्य ऑपरेटिंग टेबल या उत्पादन उपकरण की सतह पर एयरफ्लो डायवर्सन पॉइंट को क्लीन रूम स्पेस और विभाजन बोर्ड के बीच की दूरी के 2/3 पर सेट किया जाना चाहिए। इस तरह, जब ऑपरेटर काम कर रहा होता है, तो एयरफ्लो प्रक्रिया क्षेत्र के अंदर से ऑपरेटिंग क्षेत्र तक प्रवाहित हो सकता है और धूल को दूर ले जा सकता है; यदि डायवर्सन पॉइंट को प्रक्रिया क्षेत्र के सामने कॉन्फ़िगर किया गया है, तो यह एक अनुचित एयरफ्लो डायवर्सन बन जाएगा। इस समय, अधिकांश एयरफ्लो प्रक्रिया क्षेत्र के पीछे बह जाएगा, और ऑपरेटर के संचालन के कारण होने वाली धूल को उपकरण के पीछे ले जाया जाएगा, और कार्यक्षेत्र दूषित हो जाएगा, और उपज अनिवार्य रूप से कम हो जाएगी।

स्वच्छ कमरों में काम की मेज जैसी बाधाओं में जंक्शन पर एड़ी की धाराएं होंगी, और उनके पास की स्वच्छता अपेक्षाकृत गरीब होगी। वर्क टेबल पर रिटर्न एयर होल को ड्रिल करने से एडी वर्तमान घटना को कम किया जाएगा; क्या असेंबली सामग्री का चयन उचित है और क्या उपकरण लेआउट सही है, यह भी महत्वपूर्ण कारक हैं कि क्या एयरफ्लो एक एडी वर्तमान घटना बन जाता है।

6। साफ कमरे की रचना

क्लीन रूम की रचना निम्नलिखित प्रणालियों से बना है (जिनमें से कोई भी सिस्टम अणुओं में अपरिहार्य नहीं है), अन्यथा यह एक पूर्ण और उच्च गुणवत्ता वाले स्वच्छ कमरा बनाना संभव नहीं होगा:

(1) सीलिंग सिस्टम: सीलिंग रॉड, आई-बीम या यू-बीम, सीलिंग ग्रिड या सीलिंग फ्रेम सहित।

(2) एयर कंडीशनिंग सिस्टम: एयर केबिन, फिल्टर सिस्टम, विंडमिल, आदि सहित।

(3) विभाजन की दीवार: खिड़कियों और दरवाजों सहित।

(४) मंजिल: ऊंची मंजिल या एंटी-स्टैटिक फ्लोर सहित।

(५) लाइटिंग फिक्स्चर: एलईडी प्यूरीफिकेशन फ्लैट लैंप।

स्वच्छ कमरे की मुख्य संरचना आम तौर पर स्टील बार या हड्डी सीमेंट से बनी होती है, लेकिन कोई फर्क नहीं पड़ता कि यह किस तरह की संरचना है, इसे निम्नलिखित स्थितियों को पूरा करना होगा:

A. तापमान परिवर्तन और कंपन के कारण कोई दरार नहीं होगी;

B. धूल के कणों का उत्पादन करना आसान नहीं है, और कणों के लिए संलग्न करना मुश्किल है;

सी। कम हाइग्रोस्कोपिसिटी;

D. स्वच्छ कमरे में आर्द्रता की स्थिति को बनाए रखने के लिए, थर्मल इन्सुलेशन उच्च होना चाहिए;

7। उपयोग द्वारा वर्गीकरण

औद्योगिक स्वच्छ कक्ष

निर्जीव कणों का नियंत्रण वस्तु है। यह मुख्य रूप से काम करने वाली वस्तु के लिए वायु धूल के कणों के प्रदूषण को नियंत्रित करता है, और इंटीरियर आमतौर पर एक सकारात्मक दबाव स्थिति को बनाए रखता है। यह सटीक मशीनरी उद्योग, इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग (अर्धचालक, एकीकृत सर्किट, आदि), एयरोस्पेस उद्योग, उच्च-शुद्धता रासायनिक उद्योग, परमाणु ऊर्जा उद्योग, ऑप्टिकल और चुंबकीय उत्पाद उद्योग (सीडी, फिल्म, टेप उत्पादन) एलसीडी (लिक्विड क्रिस्टल) के लिए उपयुक्त है। ग्लास), कंप्यूटर हार्ड डिस्क, कंप्यूटर हेड उत्पादन और अन्य उद्योग।

जैविक स्वच्छ कक्ष

मुख्य रूप से काम करने वाली वस्तु के लिए जीवित कणों (बैक्टीरिया) और निर्जीव कणों (धूल) के प्रदूषण को नियंत्रित करता है। इसे विभाजित किया जा सकता है;

A. सामान्य जैविक क्लीन रूम: मुख्य रूप से माइक्रोबियल (बैक्टीरियल) वस्तुओं के प्रदूषण को नियंत्रित करता है। इसी समय, इसकी आंतरिक सामग्री को विभिन्न स्टरलाइज़िंग एजेंटों के कटाव का सामना करने में सक्षम होना चाहिए, और इंटीरियर आमतौर पर सकारात्मक दबाव की गारंटी देता है। अनिवार्य रूप से, आंतरिक सामग्री औद्योगिक स्वच्छ कमरे के विभिन्न नसबंदी उपचारों का सामना करने में सक्षम होना चाहिए। उदाहरण: दवा उद्योग, अस्पताल (ऑपरेटिंग कमरे, बाँझ वार्ड), भोजन, सौंदर्य प्रसाधन, पेय उत्पाद उत्पादन, पशु प्रयोगशालाएं, भौतिक और रासायनिक परीक्षण प्रयोगशालाएं, रक्त स्टेशन, आदि।

B. बायोलॉजिकल सेफ्टी क्लीन रूम: मुख्य रूप से बाहरी दुनिया और लोगों के लिए काम करने वाली वस्तु के जीवित कणों के प्रदूषण को नियंत्रित करता है। आंतरिक दबाव को वातावरण के साथ नकारात्मक बनाए रखा जाना चाहिए। उदाहरण: बैक्टीरियोलॉजी, जीव विज्ञान, स्वच्छ प्रयोगशालाएं, भौतिक इंजीनियरिंग (पुनः संयोजक जीन, वैक्सीन तैयारी)